VLSI/ULSI

作品数:12被引量:11H指数:2
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集成电路中金属硅化物的发展与演变
《集成电路应用》2008年第9期51-52,共2页方志军 汤继跃 许志 
金属硅化物在VLSI/ULSI器件技术中起着非常重要的作用,被广泛应用于源漏极和硅栅极与金属之间的接触。其中自对准硅化物(self-aligned silicide)工艺已经成为近期的超高速CMOS逻辑大规模集成电路的关键制造工艺之一。
关键词:大规模集成电路 金属硅化物 VLSI/ULSI 演变 自对准硅化物 制造工艺 器件技术 CMOS 
CEE-Gr:A Global Router with Performance Optimization Under Multi-Constraints
《Journal of Semiconductors》2004年第5期508-515,共8页张凌 经彤 洪先龙 许静宇 XiongJinjun HeLei 
国家高技术研究发展计划 (批准号:2 0 0 2 AA1Z14 60 );高校博士点基金 (批准号 :2 0 0 2 0 0 0 3 0 0 8);清华大学骨干人才支持计划(批准号:[2 0 0 2]4);国家自然科学基金(批准号:60 12 112 0 706,60 1760 16);美国自然科学基金(批准号:CCR-0 0 963 83)资助项
A global routing algorithm with performance optimization under multi constraints is proposed,which studies RLC coupling noise,timing performance,and routability simultaneously at global routing level.The algorithm is...
关键词:VLSI/ULSI physical design global routing multi  constraints performance optimization 
短沟道MOSFET解析物理模型被引量:2
《电子学报》1999年第11期84-86,92,共4页杨谟华 于奇 肖兵 谢晓峰 李竞春 
国家自然科学基金!( 6 95 76 0 0 4);国防预研基金!( 96J8 1 1 DZ0 2 0 5 )
本文基于修正的二维泊松方程导出了适用于深亚微米MOSFET的阈值电压解析模型,并进而通过反型区电荷统一表达式并考虑到载流子速度饱和、DIBL、相关迁移率、反型层电容和沟道长度调制等主要小尺寸与高场效应,最后得到了较为准确、连续和...
关键词:短沟道 MOSFET 解析物理模型 VLSI/ULSI 
VLSI/ULSI可靠性的监测与模拟
《电子科技导报》1998年第12期19-23,共5页杨谟华 方朋 
国家自然科学基金
论述了VLSI/ULSI可靠性的监测与模拟领域的技术背景、研究特点、技术进展与现代监测分析技术,并进而讨论了VLSI可靠性工程技术发展趋势。
关键词:VLSI/ULSI 可靠性 监测 模拟 BERT 寿命 失效率 
一种基于电荷泵技术的界面态横向分布测量方法被引量:2
《Journal of Semiconductors》1998年第11期834-840,共7页杨晓东 田立林 陈文松 
本文以电荷泵技术为测量手段,结合数值计算,提出了一种新的测量界面态横向分布的方法.与传统方法相比具有理论模型较完善、测量中不引入新的蜕变、易于实现的特点,适用于研究短沟道器件的热载流子蜕变效应.用该方法对1.2μmL...
关键词:电荷泵技术 界面态 设计 IC VLSI/ULSI 
深亚微米MOS器件模型BSIM2及其参数提取被引量:1
《电子科技大学学报》1997年第5期487-491,共5页陈勇 钟玲 
电子部预研基金
详细分析了适用于VLSI/ULSI设计的深亚微米BSIM2MOS器件模型,并在深入讨论短沟道MOS器件物理效应的基础上,对沟道长1μm栅氧化层厚度25nm的nMOSFET进行了测试和BSIM2模型参数的提取,且对结果...
关键词:深亚微米 集成电路 计算机辅助设计 VLSI/ULSI 
适合VLSI/ULSI的深亚微米MOS器件模型BSIM2的研究被引量:1
《微电子学》1997年第3期176-180,共5页陈勇 肖兵 杨漠华 
论述了深亚微米MOS器件模型BSIM2。从强反型区、亚阈区、过渡区及输出电阻等几方面,以物理概念为基础进行了较详细分析,并与国内1μm工艺的nMOS测量数据进行了比较。
关键词:MOS器件 器件物理 器件模型 亚微米器件 
VLSI/ULSI集成电路多层金属互连技术
《上海微电子技术和应用》1995年第4期26-36,共11页李炳宗 
随着半导体微电子器件制造技术迅速发展,多层金属互连技术对于提高器件集成度、速度和可靠性更为重要,需要不断发展新型多层金属互连结构、材料和工艺,本文介绍近年正在发展的一些多层金属互连新技术,如多层复合金属化体系、Cu等...
关键词:VLSI ULSI 集成电路 多层金属互连 
VLSI/ULSI制造中颇具前景的涂敷介质成膜技术被引量:5
《微处理机》1995年第3期4-7,共4页张沈军 李婉莹 陶星 樊崇德 
本文就目前国际上流行的两种最为主要的旋涂成膜材料-光敏聚酰亚胺和SOG的理化性能、使用特点及其国内相关技术现状与今后的发展情况加以综述。
关键词:VLSI ULSI 集成电路 制造 涂敷介质 成膜 
VLSI/ULSI可靠性的监测与模拟
《电子科技大学学报》1994年第2期218-222,共5页杨谟华 肖兵 刘诺 
论述分析了现代VLSI/ULSI电路可靠性监测与模拟技术的研究进展、应用趋势以及相关的新型监测分析技术,并讨论了其研究设计与发展方向。
关键词:VLSI ULSI 可靠性 监测 集成电路 
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