氧化锌薄膜

作品数：407被引量：1194H指数：17
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声学梳谱信号产生器件的探索
《压电与声光》2015年第6期999-1002,共4页朱昌安 周勇 穆晓华 郑泽渔 徐阳 司美菊 田亚睿 李晖 
介绍了工作频率在约为10GHz的UHF频段,可产生梳谱信号的高次谐波声体波谐振器(HBAR)的原理、设计和制作工艺方法。设计了Au/Cr/ZnO/Au/Cr/YAG/Cr/Au/ZnO/Cr/Au双端结构的谐振器,试验样品在谐振频率2.240 137GHz的品质因数(Q)值达到23 00...
关键词：声学 梳谱信号 高次谐波声体波谐振器 压电换能器 氧化锌薄膜 品质因数(Q)值 
退火对射频磁控溅射氧化锌薄膜性能的影响被引量：1
《压电与声光》2008年第1期87-89,共3页谢和平 张树人 杨成韬 张洪伟 杨艳 
国家重大基础研究基金资助项目(51310Z)
采用射频磁控溅射技术在SiO2／Si上淀积高C轴取向的ZnO薄膜，在氧气和氩气的混合气氛、不同温度（400～900℃）下进行快速热退火处理。利用X-射线衍射（XRD）、原子力显微镜（AFM）、扫描电镜（SEM）和透射电镜（TEM）对薄膜结构、形貌...
关键词：快速热退火 ZNO薄膜 C轴取向 透射电镜(TEM) 
c轴择优取向ZnO薄膜RF溅射工艺研究
《压电与声光》2007年第3期318-320,323,共4页陈祝 张树人 杜善义 杨成韬 陈富贵 董加和 孙明霞 
国家重点基础研究专项"九七三"基金资助项目(No.5130Z02)
通过射频磁控溅射在Si(100)基片上制备了ZnO薄膜,该文着重研究了磁控溅射中各生长参数如衬底温度、氧分压及后处理工艺等因素对氧化锌薄膜结晶性能、表面形貌、择优取向与微结构的影响,并对溅射工艺与取向、结构的关系进行了分析比较,...
关键词：氧化锌薄膜 磁控溅射 氧分压 择优取向 
不同择优取向的ZnO薄膜的制备被引量：6
《压电与声光》2007年第2期204-206,共3页陆液 李勇强 朱兴文 
上海市重点学科基金资助项目(T0101)
采用射频磁控溅射法在载玻片上制备了不同择优取向的ZnO薄膜。结果表明，溅射功率在100～380W范围内制备的ZnO薄膜呈（101）择优取向性，当功率上升至550W时，薄膜则为（100）取向；基片温度升高有利于（002）面的生长，当基片温度为25...
关键词：氧化锌薄膜 (100)定向 (101)定向 磁控溅射 
射频磁控溅射制备声表面波器件用ZnO薄膜被引量：3
《压电与声光》2007年第1期83-86,共4页郑泽渔 张树人 杨成韬 钟朝位 董加和 孙明霞 刘敬松 
研究了采用射频磁控溅射法在SiO2/Si衬底上制备ZnO薄膜工艺中溅射功率、氧氩比(V(O2)/V(Ar))及衬底温度对ZnO薄膜结构的影响。利用X-射线衍射(XRD)和扫描力显微镜(AFM)对薄膜进行结构性能分析,表明其结构性能随工艺参数变化的规律。利...
关键词：射频磁控溅射 氧化锌薄膜 射频功率 氧氩比(V(O2)/V(Ar)) 衬底温度 声表面波器件 
金刚石高频SAW器件中关键材料的制备研究被引量：1
《压电与声光》2006年第6期627-629,共3页刘健敏 夏义本 王林军 阮建锋 苏青峰 史伟民 
国家自然科学基金资助项目(60277024);上海市纳米专项基金资助项目(0452nm0510552nm046);上海应用材料研究与发展基金资助项目(0404);上海市重点学科基金资助项目(T0101)
采用热丝化学气相沉积(CVD)法制备了自支撑金刚石膜,再通过射频磁控溅射法沉积氧化锌薄膜在自支撑金刚石膜上。通过光学显微镜、扫描电镜(SEM)以及原子力显微镜(AFM)测试自支撑金刚石膜的表面形貌,结果表明,自支撑金刚石膜的成核面非常...
关键词：自支撑金刚石膜 表面粗糙度 氧化锌薄膜 c轴择优取向 
多层结构氧化锌薄膜制备被引量：1
《压电与声光》1997年第3期187-191,共5页陈运祥 周勇 汪渝 
介绍了高频声体波微波延迟线用多层结构氧化锌薄膜的制作方法，并对这种交替排列不同结晶取向的多层氧化锌薄膜的微观结构、成膜机理进行了分析和阐述。用具有不同机电耦合系数、厚度为半波长的交替排列多层氧化锌薄膜制成了中心频率为...
关键词：多层结构 氧化锌薄膜 界面特性 换能器 超声波 
MZOS结构界面特性的研究
《压电与声光》1993年第6期49-52,67,共5页曹广军 刘光廷 周子新 杨龙其 
分析了MZOS结构及其Si—SiO_2子系统的C-V特性,发现ZnO中的氧空位和溅射工艺过程在Si—SiO_2界面引入的界面电荷是影响MZOS结构界面特性的主要因素.研究还表明,低温热退火可以改善MZOS结构的界面特性.
关键词：MZOS结构 界面特性 氧化锌薄膜 
氧化锌薄膜热退火特性的研究被引量：1
《压电与声光》1993年第5期51-55,共5页曹广军 刘光廷 周子新 杨龙其 
对退火前后氧化锌薄膜的结构特性、化学组分及化学价态,以及缺陷特性进行了详尽的研究.结果表明,低温热退火是改善氧化锌薄膜结构特性、化学组分及化学价态,并且减少缺陷的良好方法.
关键词：氧化锌薄膜 半导体材料 退火 缺陷 
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