武蕊

作品数：5被引量：10H指数：2
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供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所更多>>
发文主题：压敏电阻加速度传感器微机械加速度传感器键合固有频率更多>>
发文领域：电子电信自动化与计算机技术机械工程电气工程更多>>
发文期刊：《传感技术学报》《传感器与微系统》更多>>
所获基金：中国工程物理研究院科学技术发展基金中国人民解放军总装备部预研基金中国工程物理研究院电子工程研究所科技创新基金国防科技技术预先研究基金更多>>
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基于圆片级阳极键合封装的高g_n值压阻式微加速度计被引量：3
《传感器与微系统》2013年第5期111-113,117,共4页袁明权 孙远程 张茜梅 武蕊 屈明山 熊艳丽 
跨行业装备预先研究项目(51305050301);中国工程物理研究院科学技术发展基金重点资助项目(2011A0403017);中国工程物理研究院科学技术发展基金重点资助项目(2010A0302013)
设计了一种适合于高gn值压阻式微加速度计圆片级封装的结构,解决了芯片制造工艺过程中电极通道建立、焊盘保护、精确划片等关键技术。采用玻璃—硅—玻璃三层阳极键合的方式进行圆片级封装,较好地解决了芯片密封性、小型化和批量化等生...
关键词：微机电系统 圆片级封装 微加速度计 压阻 阳极键合 
无掩膜腐蚀与伺服型电容式微加速度计被引量：4
《信息与电子工程》2009年第5期432-434,共3页袁明权 彭勃 赵龙 武蕊 唐海林 席仕伟 谭刚 
中国工程物理研究院科学技术发展基金重点资助项目(2007A05001)
为了解决"三明治"这类微器件制作的深窄槽结构成型问题,运用无掩膜湿法腐蚀技术,成型悬臂梁雏形后再成型质量块,较好地实现了悬臂梁与质量块同时准确成型,研制出±70 g和±5 g两种不同量程的微加速度计。样品测试表明,利用这项技术所制...
关键词：微电子机械系统 微加速度计 无掩膜腐蚀 氧化 微机械加工 残差 
无粘连键合技术与伺服型±70g微加速度传感器被引量：1
《信息与电子工程》2008年第1期21-23,共3页彭勃 袁明权 丁元萍 李红 武蕊 张茜梅 王艳丽 
中国工程物理研究院电子工程研究所创新基金资助项目(S20060201)
为了解决电容极板间隙低至3μm时传感器键合封接后内部活动部件粘连失效的问题,介绍了一种利用去除部分Au层的办法来抑制小间隙键合粘连,通过严控元件表面生产质量,合理地设计伺服控制器,制作的微加速度传感器已经达到了±70g的量程,单...
关键词：无粘连键合 微加速度传感器 伺服控制器 量程 
四个余弦形悬臂梁支撑的惯性力致动双稳态开关被引量：1
《传感技术学报》2006年第05B期2248-2251,共4页陈光焱 郑英彬 赵龙 武蕊 
基于双稳态机构精密定位特性,提出一种惯性力致动双稳态开关方案.该双稳态开关由四个初始形态为余弦形的悬臂梁及其支撑的质量块构成,质量块敏感阈值加速度后跳变到另一稳态,与触点接触实现开关导通.通过有限元法对比分析余弦形和圆弧...
关键词：惯性力 双稳态 开关 MEMS 
薄片PIN探测器及其阵列的灵敏度和上升时间测定被引量：1
《信息与电子工程》2004年第1期70-72,共3页施志贵 武蕊 张莉 
国防科技预先研究基金项目(413110602)
利用CΓC67实验装置测量了薄片PIN探测器及其二元和三元阵列的低能g射线灵敏度和上升时间。实验证实,三元阵列灵敏度比单个探测器提高到近3倍,但上升时间也随之增大到近2倍。
关键词：薄片PIN探测器 灵敏度 三元阵列 上升时间 CΓC67 
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