国家高技术研究发展计划(2006AA04Z256)

作品数：8被引量：43H指数：5
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相关作者：孙立宁陈立国荣伟彬王家畴陈伟更多>>
相关机构：哈尔滨工业大学西安交通大学中国科学院更多>>
相关期刊：《光学精密工程》《压电与声光》《功能材料与器件学报》《仪器仪表学报》更多>>
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相关领域：自动化与计算机技术电子电信机械工程更多>>
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光纤阵列中纤芯间距的检测系统被引量：3
《红外与激光工程》2011年第4期728-732,共5页陈立国 朱吉锋 王明月 
国家863计划(2006AA04Z256);国家自然科学基金(60605025)
在光通讯器件中,由光纤阵列和光波导封装而成的光波导分路器芯片,有着广泛的应用。光纤阵列与光波导封装的关键技术在于实现光纤阵列与光波导的低损耗耦合。然而,光纤阵列中纤芯分布的均匀性将会直接影响到耦合的性能,因此,需要对光纤...
关键词：光纤阵列 显微视觉 最小二乘法 亚像素 
压电马达驱动3-PPTRR并联机器人研究被引量：2
《压电与声光》2010年第1期141-144,148,共5页荣伟彬 秦志刚 王乐锋 孙立宁 
国家自然科学基金资助项目(50605013);国家"八六三"计划基金资助项目(2006AA04Z256)
设计了一种压电马达驱动的3-PPTRR构型的3支链6自由度并联机器人,具有结构简单,支链不易干涉,无电磁干扰等优点。介绍了这种机器人的结构特点,分别采用解析法、矢量构造法对机构位置反解和雅克比矩阵进行分析。针对雅克比矩阵条件数的...
关键词：压电马达 并联机器人 可操作度 尺寸优化 
具有力感知功能的四臂式MEMS微夹持器研制被引量：4
《光学精密工程》2009年第8期1878-1883,共6页孙立宁 陈涛 邵兵 李昕欣 
国家863高技术研究发展计划资助项目(No.2006AA04Z256);国家自然科学基金资助项目(No.50805040)
为使夹持器小型集成化且夹持力可控,采用体硅加工技术研制了一种基于单晶硅的、具有微力检测功能的新型四臂式MEMS微夹持器。以压阻检测技术为基础,利用MEMS侧面压阻刻蚀工艺将力传感器集成在微夹持器的夹持臂末端,实现夹持力的微力检...
关键词：微机电系统 MEMS微夹持器 侧面压阻 微操作 
MEMS器件自动引线键合系统被引量：5
《功能材料与器件学报》2008年第2期308-312,共5页陈立国 杨治亮 马凌宇 孙立宁 
国家863项目支持(No.2006AA04Z256)
引线键合是MEMS传感器最常用的封装形式之一,传统IC引线键合设备的批量制造特点限制了MEMS制造的灵活性。本文将连续变倍显微镜作为视觉传感器建立柔性显微视觉系统,并与改造后的手动引线键合机相结合,建立了面向MEMS的自动引线键合系...
关键词：MEMS 引线键合 显微视觉 
集成式6自由度微动并联机器人系统被引量：8
《光学精密工程》2007年第9期1391-1397,共7页王振华 陈立国 孙立宁 
国家863高技术计划资助项目(No.2006AA04Z256)
基于机构、驱动、检测一体化的思想,研制出了压电陶瓷驱动的6自由度集成式并联微动机器人,对该机器人的机构、驱动、检测、控制及误差补偿方法进行了研究。采用6自由度(6-SPS)并联结构设计了微动并联机器人的构型,对结构参数进行了优化...
关键词：并联微动机器人 压电陶瓷 位姿测量 误差补偿 
基于MEMS技术的微操作三维力传感器研究被引量：11
《仪器仪表学报》2007年第4期692-698,共7页荣伟彬 王家畴 赵玉龙 陈立国 孙立宁 
国家863计划(2006AA04Z256);长江学者和创新团队发展计划资助项目
针对微操作过程中对微力觉信号的需求,以压阻检测技术为基础结合MEMS加工工艺,设计了一种用于微操作的三维力传感器,建立传感器的数学模型并用有限元分析软件对敏感弹性元件进行分析。利用悬臂梁受力弯曲变形的原理结合显微视觉技术,实...
关键词：三维微力传感器 压阻检测技术 有限元分析 标定实验 
新型集成三维微力检测微夹持器被引量：7
《光学精密工程》2007年第4期550-556,共7页王家畴 荣伟彬 孙立宁 谢晖 陈伟 
国家863计划资助项目(No.2004AA420040);国家863计划基金项目(No.2006AA04Z256);长江学者和创新团队发展计划资助项目
提出了一种以压阻检测技术为基础,压电陶瓷为微驱动元件,具有两级位移放大且集成三维微力传感器的微夹持器。采用有限元软件对微操持器放大机构和传感器弹性体进行分析,并给出了传感器的标定方法。实验证明,该传感器具有无耦合、测量分...
关键词：三维微力传感器 压电陶瓷 解耦 微夹持器 有限元分析 
一种集成三维微力传感器的微夹持器研制被引量：5
《压电与声光》2007年第2期175-178,共4页荣伟彬 谢晖 王家畴 孙立宁 陈伟 
国家"八六三"计划资助项目(2006AA04Z256);长江学者和创新团队发展计划资助项目
微操作中力的检测与控制是实现无损伤操作的关键。因此,该文提出了一种以压阻检测技术为基础,集成三维微力传感器的微夹持器。传感器标定实验结果表明,该传感器具有耦合小,测量分辨率高,线性度好的优点。传感器量程为-10^+10 mN,在x、y...
关键词：微夹持器 三维微力传感器 压阻检测 标定实验 
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