注入机

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大角度离子注入机控制系统软件设计
《微细加工技术》2008年第6期1-3,共3页伍三忠 吴学忠 
介绍了大角度离子注入机控制系统软件的设计和实现,重点介绍了控制系统的总体设计和系统软件的结构设计、软件的具体实施和系统软件主要模块的功能。
关键词：大角度离子注入机 系统软件 软件模块 软件结构 
离子注入机大行程垂直扫描系统的研制
《微细加工技术》2008年第1期11-13,共3页肖仁耀 许波涛 
采用垂直扫描系统是离子注入机最常用的扫描方式之一,着重阐述了一种大行程垂直扫描系统的系统构成、设计思路和实现方法。经过实际使用证明,该系统提高了离子注入机机械扫描的可靠性和稳定性。
关键词：垂直扫描 气浮轴承 差压抽气 直线电机 
大角度离子注入机控制系统的研制被引量：1
《微细加工技术》2006年第2期16-20,共5页伍三忠 孙勇 王迪平 
介绍了大角度离子注入机控制系统的功能,重点介绍了系统的总体设计和控制模块的设计、主控计算机与子控制器之间的通讯以及控制系统的软件结构设计等。经实验证明,该控制系统稳定、可靠。
关键词：大角度离子注入机 集散式控制 双端口巡检控制器 子控制器 软件结构 
LC19离子注入机控制方法及主控制器原理分析被引量：3
《微细加工技术》2005年第1期12-16,共5页邱小莎 伍三忠 孙勇 
为了使离子注入机满足生产线工艺的要求,控制系统的设计必须使控制功能完善、控制命令响应迅速、命令执行准确可靠、异常处理迅速有效和整机工作稳定可靠。LC19离子注入机控制系统采用主从集中式控制方法,较好地解决了控制功能复杂与控...
关键词：大角度离子注入机 控制器 异常处理 软件流程 
光学编码器在离子注入机中的应用
《微细加工技术》2004年第1期28-31,共4页孙勇 罗宏洋 龙娟 
具有高度自动控制功能的离子注入机能够实现精确的测量晶片在片盒中的位置、控制晶片的装卸及晶片在靶盘上的定位等系列功能。光学编码器作为一种高精度的传感器是实现其机电一体化的关键部件之一。主要介绍了光学编码器的基本原理及其...
关键词：光学编码器 离子注入机 位置偏差 大规模集成电路 机电一体化 控制系统 
LC-11型强流离子注入机晶片电荷积累效应分析被引量：2
《微细加工技术》1998年第2期14-17,共4页陈林 
通过讨论强流离子注入过程中晶片电荷积累所引起的一系列问题，分析了ＬＣ－１１型强流离子注入机防晶片电荷积累的有效性。
关键词：强流离子注入机 晶片电荷积累 电子淋浴器 ULSI 
LC-11型强流离子注入机剂量控制器被引量：1
《微细加工技术》1997年第4期12-18,共7页杨建生 
本文介绍了LG－11型强流离子注入机全机械扫描剂量控制器的工作原理，硬件结构和软件框图。
关键词：强流离子注入机 剂量控制器 微电子技术 
用于强流离子注入机的磁分析器电源设计被引量：1
《微细加工技术》1997年第4期19-24,共6页孙雪平 
本文简要介绍了该电源的指标及电路．并详细论述了提高电源稳定度和可靠性的方法和措施，最后给出了测试结果和运行情况。
关键词：强流离子注入机 磁分析器 电源 微电子技术 
全机械扫描强流离子注入机重复性研究被引量：2
《微细加工技术》1997年第1期26-30,共5页陈林 杨建生 颜享迪 
对影响全机械扫描强流离子注入机剂量重复性的因素进行了分析。对束流纹波的影响建立了数学模型，计算了束流纹波对剂量重复性的影响。结果表明只要束流纹波在9％以内，剂量重复性可控制在1％以下。
关键词：强流离子注入机 全机械扫描 剂量重复性 
离子注入机中高压电源主电路工作频率的确定
《微细加工技术》1996年第4期49-55,共7页罗子孝 
离子注入机中高压直流稳压电源的主电路采用了脉宽调制式变换电路。本文从控制主要元器件的功耗入手，讨论如何选择变换器的工作频率和设计主要器件的参数，以确保电源的低功耗和高效率。
关键词：离子注入机 工作频率 高压电源电路 半导体器件 
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