红外透射谱

作品数：16被引量：39H指数：4
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相关作者：高超群景玉鹏吴越颖龚海梅何国荣更多>>
相关机构：中国科学院北京工业大学中国科学院微电子研究所昆明物理研究所更多>>
相关期刊：《红外与激光工程》《功能材料与器件学报》《红外与毫米波学报》《光子学报》更多>>
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真空退火对低频PECVD氮化硅薄膜性能的影响被引量：4
《半导体光电》2012年第1期74-78,共5页柳聪 蒋亚东 黎威志 
国家自然科学基金资助项目(60736005)
研究了真空退火温度对不同流量比工艺参数下PECVD氮化硅薄膜性能的影响,测试了退火后氮化硅薄膜厚度、折射率以及在氢氟酸中的腐蚀速率。结果表明,退火后氮化硅薄膜厚度及折射率变化与薄膜沉积工艺条件有关,而薄膜在氢氟酸中的腐蚀速率...
关键词：真空退火 PECVD 氮化硅 红外透射谱 
纳米晶硅薄膜中氢含量及键合模式的红外分析被引量：9
《物理学报》2009年第4期2565-2571,共7页陈城钊 邱胜桦 刘翠青 吴燕丹 李平 余楚迎 林璇英 
国家重点基础研究发展计划(批准号:G2000028208);韩山师范学院青年科研基金(批准号:0503)资助的课题~~
采用传统射频等离子体化学气相沉积技术在100—350℃的衬底温度下高速沉积氢化硅薄膜.傅里叶变换红外光谱和Raman谱的研究表明,纳米晶硅薄膜中的氢含量和硅氢键合模式与薄膜的晶化特性有密切关系,当薄膜从非晶相向晶相转变时,氢的含量...
关键词：氢化纳米晶硅薄膜 红外透射谱 氢含量 硅氢键合模式 
碲锌镉单晶片的退火方法被引量：2
《功能材料与器件学报》2008年第3期575-579,共5页高德友 赵北君 朱世富 唐世红 何知宇 张冬敏 方军 程曦 
国家自然科学基金(No.60276030);教育部博士点基金(No.20020610023)资助项目
探索了一种Cd1-xZnxTe(CZT)探测器晶片退火的新装置和新方法,该装置可以方便有效的对CZT单晶片进行同组分源退火研究。利用XRD、红外透射谱和晶体电阻率表征了采用该装置在富Cd的同组分CZT粉末源包裹下,选择适宜的退火温度和时间进行退...
关键词：碲锌镉单晶片 退火 电阻率 XRD 红外透射谱 
Pb_(1-x)Mn_xTe稀磁半导体外延薄膜的光学特性被引量：3
《红外与毫米波学报》2007年第4期261-264,共4页夏明龙 吴惠桢 斯剑霄 徐天宁 王擎雷 戴宁 谢正生 
国家自然科学基金(10434090)资助项目
采用分子束外延（MBE）方法在BaF2（111）衬底上生长了不同Mn组分的Pb1-xMnxTe（0≤x≤0.012）稀磁半导体薄膜.通过波长为3.0-11.0μm中红外透射谱的分析并应用透射光谱上干涉峰峰值的位置计算获得了Pb1-xMnxTe薄膜的折射率,由最小平方...
关键词：Pb1-xMnxTe外延薄膜 红外透射谱 折射率 光学带隙 
高真空低温下红外探测器窗口吸附物的分析被引量：2
《红外与激光工程》2005年第1期11-14,共4页刘大福 黄杨程 吴礼刚 龚玮 徐国森 龚海梅 
利用X射线光电子能谱、红外喇曼反射谱和红外透射谱,研究了在超高真空环境下,红外探测器在电老化一段时间后,其表面镀ZnS的Ge窗口材料表面的变化情况。对比电老化前后的两种探测器窗口的实验结果,表明探测器窗口上的吸附物可能来自真空...
关键词：ZNS XPS 红外透射谱 红外探测器 
Si/Si直接键合界面的FTIR和XPS研究被引量：2
《半导体光电》2004年第5期372-375,共4页陈松岩 谢生 何国荣 
　通过新颖的键合方法实现了Si/Si直接键合。采用傅里叶红外透射谱(FTIR)对Si/Si键合界面进行了研究,结果表明,高温退火样品的界面组分为Si和O,无OH和H网络存在。X射线光电子谱(XPS)测试结果进一步表明,界面主要为单质Si和SiOx混合网络...
关键词：硅 直接键合 红外透射谱 X射线光电子谱 
Si/Si直接键合界面性质的研究被引量：1
《固体电子学研究与进展》2004年第3期390-395,共6页陈松岩 谢生 何国荣 
国家基金 (项目编号 :6 0 0 0 6 0 0 4);国家重点基金 (项目编号 :6 0 336 0 1 0 )项目支持
通过三步直接键合方法实现了 Si/ Si键合。采用 XPS、FTIR、I-V、拉伸强度等手段对 Si/ Si键合结构的界面特性作了深入广泛的研究。研究结果表明 ,高温退火后 ,在键合界面没有 Si-H和 Si-OH网络存在 ,键合界面主要由单质 Si和不定形氧化...
关键词：硅直接键合 界面性质 红外透射谱 X-射线光电子谱 伏安特性 键合强度 键合机理 
氢化非晶硅薄膜红外透射谱与氢含量被引量：6
《中国科学（G辑）》2004年第3期279-289,共11页胡跃辉 陈光华 吴越颖 阴生毅 高卓 王青 宋雪梅 邓金祥 
国家重点基础研究发展规划资助项目(批准号: G2000028201)
研究了用氢化非晶硅薄膜红外透射谱的摇摆模和伸缩模计算氢含量的两种方法，分析了这两种方法在计算薄膜氢含量时引起差别的原因．理论推导及实验结果表明，若将SiH2和(SiH2)。含量大小用结构因子F=(I840+I880)I2000来表示，则在F值较...
关键词：氢化非晶硅薄膜 氢含量 红外透射谱 摇摆模 伸缩模 基线拟合 
KCl透镜上的类金刚石碳膜红外透射特性研究
《光子学报》2002年第9期1132-1134,共3页姚合宝 贺庆丽 徐蓉 于明湘 
用射频—直流辉光放电PECVD法在KCl透镜上沉积了非晶结构的类金刚石碳膜 测量显示镀覆了类金刚碳膜的KCl透镜在 2 .5 μm～ 5 0 μm红外范围内具有高增透作用
关键词：KCl透镜 等离子体 类金刚石碳膜 红外透射谱 氯化钾透镜 红外保护 
Cd1-xZnxTe合金的退火研究被引量：3
《Journal of Semiconductors》2001年第8期992-995,共4页魏彦锋 方维政 刘从峰 杨建荣 何力 王福建 王兴军 黄大鸣 
国家自然科学基金资助项目 (批准号 :6942 5 0 0 2 )
用红外透射谱和喇曼散射谱研究了退火对 Cd1 - x Znx Te晶片中 Te沉淀的影响 .研究结果表明 ,红外透射谱只对大尺寸的 Te沉淀较为敏感 ,而喇曼散射谱却能够探测到样品中小尺寸的 Te沉淀 ,两者互为补充 .在 Cd气氛下对晶片进行退火处理 ...
关键词：CDZNTE 红外透射谱 喇曼散射 退火 
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