国家自然科学基金(50390064)

作品数：68被引量：258H指数：9
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芯片高密度封装互连技术被引量：8
《上海大学学报（自然科学版）》2011年第4期391-400,共10页张建华 张金松 华子恺 
国家自然科学基金资助项目(50390064);教育部新世纪优秀人才支持计划资助项目(NCET070535);上海市科委国际合作资助项目(045007027);上海市教委重点资助项目(2006ZZ04);上海市曙光计划资助项目(05SG42);上海市启明星计划资助项目(04QMX1442;08QH14007)
电子封装正朝着高密度封装的方向发展,以满足市场对高性能、高可靠性、低成本、微型化的电子产品的需求.高密度封装具有多学科交叉的特点.综述课题组多年来在芯片高密度封装互连技术,包括倒装芯片(flip chip,FC)凸点制备/转移技术、导...
关键词：高密度封装 互连技术 倒装芯片 凸点 各向异性导电胶 非导电胶 可靠性 
螺钉预紧力对超声换能器振动特性的影响规律研究被引量：3
《机械科学与技术》2010年第9期1142-1144,共3页刘炜 吴运新 
国家自然科学基金项目(50390064);博士点基金项目(20060533068)资助
以连接螺钉预紧力对换能器的振动特性影响规律为研究对象,对换能器进行动力学仿真,其中系统谐振频率经采用阻抗分析仪扫频测试,实际振动模态采用多谱勒测振仪对键合工具进行多点速度扫描,测试结果与仿真数据相符。
关键词：换能系统 振动特性 有限元方法 预紧力 激光多谱勒测振仪 
变频式超声波发生器的高速锁相研究被引量：6
《电子与封装》2010年第2期35-37,47,共4页严勇文 隆志力 何将三 杨岳峰 
国家重点基础研究发展计划资助项目(2003CB716202);国家自然科学基金青年科学基金项目(50605064);国家自然科学基金资助项目(50390064)
用于超声键合工艺的超声波发生器是引线键合封装设备的主要装置,其核心与关键是频率自动跟踪与锁相速度。文中构建了一种变频式超声波发生器,并对其中的高速锁相进行分析。通过换能器的电流反馈,采用基于嵌入式的数字式真有效值试探算法...
关键词：高速锁相 真有效值 平方根 超声键合 
超声换能器ANSYS建模及谐响应分析被引量：13
《科学技术与工程》2009年第10期2728-2731,共4页刘炜 吴运新 
国家自然科学基金(50390064);博士点基金(20060533068)资助
超声换能器是超声键合装备的一个重要组成部分,芯片的键合质量与超声换能器的响应有着非常密切的关系。通过有限元分析软件ANSYS进行建模,获得换能系统谐响应曲线,并利用多普勒测速仪验证有限元分析的结果。
关键词：PZT换能器 ANSYS 有限元 谐响应 多普勒测速仪 
超声键合变频式超声波发生器的设计
《压电与声光》2009年第2期224-226,共3页严勇文 隆志力 何将三 杨岳峰 
国家重点基础研究发展计划资助项目(2003CB716202);国家自然科学基金青年科学基金资助项目(50605064);国家自然科学基金资助项目(50390064)
用于超声键合工艺的超声波发生器是引线键合封装设备的主要装置,其作用是驱动换能器并使其处于谐振工作状态,多工作频率点是未来换能器发展的一个重要方向。传统超声波发生器不具备多频段频率跟踪功能,该文构建了一种变频式超声波发生器...
关键词：变频式 超声键合 直接数字频率合成(DDS) 锁相环(PLL) 
高精密运动平台的重复控制被引量：1
《现代制造工程》2008年第11期13-16,共4页杜飞 吴运新 
国家自然科学基金项目(50390064);上海市科委资助项目
为给步进扫描光刻机的设计研究提供理论指导,解决光刻机工作台宏动平台的控制问题,建立了步进扫描光刻机模拟减振试验平台宏动定位系统工作台伺服系统的数学模型,并根据该系统重复运动的特点,提出一种基于重复控制补偿的PID控制方式。运...
关键词：步进式扫描光刻机 工件台 数学模型 重复控制 
步进扫描式光刻机隔振试验平台主动减振系统试验研究被引量：4
《噪声与振动控制》2008年第4期3-5,共3页杨辅强 吴运新 邓习树 
国家自然科学基金委项目重大项目课题(编号:50390064);上海市科委联合资助项目<精密机械减振隔振技术研究>
根据步进扫描式光刻机的振动特点,设计隔振试验平台的减振系统,并对试验平台的主动减振系统进行测试研究。测试结果表明,步进扫描式光刻机隔振试验主动减振系统,能有效降低光刻机工作过程中运动部件对工作平台的冲击,具有良好的减振效果。
关键词：振动与波 步进扫描式光刻机 主动减振 试验研究 
热超声键合换能系统设计及性能分析
《压电与声光》2008年第4期501-504,共4页杨岳锋 段吉安 隆志力 齐斌 
国家重点基础研究发展计划基金资助项目(2003CB716202);国家自然科学基金"十五"重大资助项目(50390064)
在热超声键合系统中,超声换能系统是键合装备的核心部分。基于等效电路法和解析法设计换能系统,获得换能系统的基本结构尺寸;基于有限元方法建立系统的仿真模型,获得系统的振动模态特性;采用阻抗分析仪与Doppler测振仪对系统进行性能分...
关键词：热超声键合 PZT换能系统 有限元方法 
超声键合变频式超声波发生器设计被引量：1
《电力电子技术》2008年第5期82-83,86,共3页何将三 严勇文 隆志力 
国家自然科学基金"十五"重大项目(50390064);国家自然科学基金青年科学基金项目(50605064)~~
用于超声键合工艺的超声波发生器是引线键合封装设备中的主要装置,其作用是驱动换能器并使其处于谐振工作状态,多工作频率点是未来换能器发展的一个重要方向。因为传统超声波发生器不具备多频段频率跟踪功能,所以构建了一种变频式超声...
关键词：发生器 变频 换能器 锁相环 
热超声键合换能系统设计及性能分析
《声学与电子工程》2008年第1期37-40,共4页杨岳锋 段吉安 隆志力 齐斌 
国家重点基础研究发展计划资助项目(NO:2003CB716202);国家自然科学基金"十五"重大项目(NO:50390064)
在热超声键合系统中,超声换能系统是键合装备的核心部分。基于等效电路法和解析法设计,获得换能系统的基本结构尺寸;基于有限元方法建立系统的仿真模型,获得系统的振动模态特性;采用阻抗分析仪与Doppler测振仪对系统进行性能分析。实验...
关键词：热超声键合 PZT换能系统 有限元方法 
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