云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 国家自然科学基金(50405033)

国家自然科学基金(50405033): 作品数：27被引量：87H指数：5; 导出分析报告; 相关作者：史铁林廖广兰汤自荣聂磊来五星更多>>; 相关机构：华中科技大学湖北工业大学武汉光电国家实验室华南理工大学更多>>; 相关期刊：《湖北工业大学学报》《功能材料与器件学报》《计测技术》《传感技术学报》更多>>; 相关主题：硅表面活化键合圆片键合激光键合更多>>; 相关领域：电子电信自动化与计算机技术机械工程一般工业技术更多>>

基于UV光照的圆片直接键合技术被引量：2: 《Journal of Semiconductors》2008年第7期1369-1372,共4页马沧海廖广兰史铁林汤自荣刘世元聂磊林晓辉; 国家重点基础研究发展规划(批准号:2003CB716207);国家自然科学基金(批准号:50405033;50775091);新世纪优秀人才支持计划(批准号:NCET-06-0639)资助项目~~; 研究了UV辅助活化与湿化学清洗活化相结合的圆片直接键合技术,并利用红外测试系统、单轴拉伸测试仪和场发射扫描电子显微镜,结合恒温恒湿实验、高低温循环实验对键合质量进行了测试.结果表明,采用该技术可以实现较好的圆片直接键合,提...; 关键词：圆片直接键合紫外光照射键合质量可靠性

圆片直接键合界面表面能测试研究: 《半导体光电》2008年第3期379-382,共4页廖广兰王美成史铁林史玉平汤自荣聂磊; 国家“973”计划资助项目(2003CB716207);国家自然科学基金资助项目(50405033,50775091); 基于裂纹传播扩散法,研究了键合圆片的表面能计算方法,推导出包括圆形、矩形、三角形等形状样品的平均表面能计算公式,并应用于硅片直接键合的表面能计算。应用实例表明,上述公式能方便地计算出键合圆片的平均表面能,实现对键合质量的...; 关键词：圆片键合界面裂纹传播扩散表面能测试

紫外光辐射在硅片表面活化键合中的应用被引量：1: 《功能材料与器件学报》2008年第2期353-357,共5页林晓辉史铁林廖广兰汤自荣彭平王海珊; 国家重大基础研究项目(No.2003CB716207);国家自然科学基金资助项目(No.50405033); 在硅圆片表面亲水活化键合工艺中引入了紫外光照射并对其工艺参数和效果进行了评估。基于基本键合流程,通过对比实验,研究紫外光照与否,以及照射时间长短对硅片键合质量的影响。同时利用红外检测仪,拉伸强度测试仪以及原子力显微镜分别...; 关键词：表面活化紫外辐射表面粗糙度承载率

硅/玻璃紫外固化中间层键合被引量：3: 《Journal of Semiconductors》2008年第1期179-182,共4页程文进汤自荣廖广兰史铁林林晓辉彭平; 国家重大基础研究发展规划(批准号:2003CB716207);国家自然科学基金(批准号:50405033)资助项目~~; 利用玻璃的透光特性和紫外固化的成熟技术,研究了一种使用紫外固化胶作为中间层的玻璃/硅室温键合工艺.通过选择一定波段的紫外固化胶,旋涂紫外胶后使用365nm光刻机作为紫外光源控制紫外固化,从而实现了硅/玻璃的中间层键合.分析测试结...; 关键词：室温键合中间层紫外固化

基于采样定理的白光干涉SEST算法研究: 《计算机工程与应用》2008年第1期79-81,共3页冯奎景廖广兰史铁林王海珊; 国家重点基础研究发展规划(973)(the National Grand Fundamental Research973Program of China under Grant No.2003CB716207);国家自然科学基金(the National Natural Science Foundation of China under Grant No.50405033);国家高技术研究发展计划(863)(the Na-tional High-Tech Research and Development Plan of China under Grant No.20060104Z3055)。; 研究了基于采样定理的白光干涉测量算法——Square-envelop function Estimation by Sampling Theory(SEST)算法,该算法采样间隔是传统算法的数倍,最大可达1.425"m,大大提高了测量速度。在该算法基础上,提出应用循环缓冲器来定位相干区...; 关键词：光学测量 SEST算法白光干涉表面形貌

表面活化处理在激光局部键合中的应用被引量：1: 《激光技术》2007年第5期476-478,共3页聂磊史铁林汤自荣李晓平马子文; 国家重大基础研究资助项目(2003CB716207);国家自然科学基金资助项目(50405033); 为了研究低热应力键合工艺,提出了一种将表面活化直接键合与激光局部键合相结合的键合技术。首先采用RCA溶液对键合片进行表面亲水活化处理,并在室温下成功地完成了预键合。然后在不使用任何夹具施加外力辅助的情况下,利用波长1064nm、...; 关键词：激光技术局部键合表面活化键合强度

小型非球面光学元件测量技术研究被引量：4: 《计测技术》2007年第4期1-4,13,共5页王美成廖广兰史铁林; 国家重大基础研究项目(2003CB716207);国家自然科学基金资助项目(50405033);日本三丰科学技术振兴协会资助项目; 非球面光学元件应用越来越广泛,其测量技术非常关键。本文研究了小型非球面光学元件的各种面形测量方法,针对其测量原理进行了分类和对比,对其优缺点和适用范围进行了讨论,同时分析了各种测量方法实现的关键技术和面临的挑战。; 关键词：非球面光学元件接触测量非接触测量

激光键合的有限元仿真及工艺参数优化被引量：2: 《Journal of Semiconductors》2007年第6期995-1000,共6页马子文汤自荣廖广兰史铁林聂磊周平; 国家重大基础研究(批准号:2003CB716207);国家自然科学基金(批准号:50405033)资助项目~~; 在硅/玻璃激光键合中,温度场的分布是影响晶片能否键合的关键因素.本文利用有限元法建立了移动高斯热源作用下硅/玻璃激光键合的三维温度场数值分析模型.运用该模型计算了不同的工艺参数条件下硅/玻璃的温度场分布,并由此得出键合线宽....; 关键词：激光键合有限元法回归分析键合线宽

IsVIP:一种即时可重构虚拟仪器平台被引量：7: 《仪器仪表学报》2007年第4期634-639,共6页赵江滨史铁林来五星尹新启; 国家重大基础研究项目(973)(2003CB716207);国家自然科学基金(50405033)资助项目; 本文提出了一种图形化的即时可重构虚拟仪器软件平台IsVIP,它采用开放的组件化体系结构,提供了硬件设备控制台和软件控件2类扩展点,能够实现对任意硬件设备的支持,以及实现任意的软件功能;采用数据流驱动的工作方式,多条数据流可以并行...; 关键词：自主智能传感器虚拟仪器即时可重构流水线 IsVIP

VME总线数据上行中断传输及从设备接口设计被引量：5: 《微电子学与计算机》2007年第3期207-209,共3页汪小燕王峻峰徐文; 国家自然科学基金项目(50405033); 介绍了VME总线数据的传送方式,分析了VME总线中优先中断总线的相关功能模块,研究了VME总线数据中断方式传输的机制,提出了一种基于中断方式数据上行传输的从设备VME接口的设计方法,给出了设计实例。; 关键词：VME 总线仪器仪表中断数据传输

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