国家重点基础研究发展计划(G2000068306)

作品数:25被引量:166H指数:8
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MOCVD法制备磷掺杂p型ZnO薄膜被引量:5
《Journal of Semiconductors》2006年第1期91-95,共5页周新翠 叶志镇 陈福刚 徐伟中 缪燕 黄靖云 吕建国 朱丽萍 赵炳辉 
国家重点基础研究专项经费(批准号:G2000068306);国家自然科学基金(批准号:90201038)资助项目~~
利用金属有机化学气相沉积方法在玻璃衬底上生长了掺磷的p型ZnO薄膜.实验采用二乙基锌作为锌源,高纯氧气和五氧化二磷粉末分别作为氧源及磷掺杂源.实验表明生长温度为400~450℃时获得了p型ZnO薄膜,而且在420℃时,其电学性能最好,空穴...
关键词:p-ZnO 金属有机化学气相沉积 磷掺杂 
MOCVD法制备ZnO同质发光二极管被引量:10
《Journal of Semiconductors》2005年第11期2264-2266,共3页叶志镇 徐伟中 曾昱嘉 江柳 赵炳辉 朱丽萍 吕建国 黄靖云 汪雷 李先杭 
国家重点基础研究专项经费(批准号:G2000068306);国家自然科学基金(批准号:90201038);香港-大陆两地基金资助项目~~
在n型ZnO体单晶片上,首次采用N等离子体辅助金属有机化学气相沉积方法外延生长了p型ZnO薄膜,制成了同质ZnO的发光二极管(LED)原型器件;在室温下,观察到同质ZnO的LED施加电压后由电注入激发出紫外至绿光波段的光谱.
关键词:ZNO LED P型掺杂 金属有机化学气相沉积 
p型透明导电的锡镓氧化物薄膜的制备及其表征被引量:1
《真空科学与技术学报》2005年第2期93-95,99,共4页季振国 陈琛 王超 周强 赵丽娜 
国家重点基础研究专项(G2000068306);国家高技术研究发展计划(2003AA3A19/1);浙江省分析测试基金(03103)资助项目
本文通过磁控溅射锡镓合金靶(Ga/Sn=0.2)及热氧化的方法,成功地制备了p型透明导电的锡镓氧化物(TGO)薄膜。X射线衍射(XRD)测试结果表明,TGO薄膜保持SnO2的金红石结构。吸收谱测试表明TGO薄膜在可见光范围内透过率可达到85%以上,其光学...
关键词:透明导电 氧化物薄膜 P型 制备 表征   光学禁带宽度 空穴浓度 X射线衍射 金红石结构 热处理温度 磁控溅射 SnO2 霍尔效应 温度过高 氧化温度 热氧化 合金靶 测试 透过率 可见光 吸收谱 子类型 
Microstructure of ternary Zn_(1-x)Cd_xO films on silicon substrate
《中国有色金属学会会刊:英文版》2005年第1期135-138,共4页卢焕明 叶志镇 马德伟 黄靖云 朱丽萍 赵炳辉 
Project(G2000068306) supported by the National Basic Research Program of China; Project(00085) supported by Testand Analysis Foundation of Zhejiang Province
Ternary Zn1-xCdxO alloying films were deposited on silicon substrates by a reactive magnetron sputtering method. The structures of the films were characterized by transmission electron microscopy(TEM) and X-ray diff...
关键词:钆氧化锌合金 微观结构 反应溅射法 硅基薄膜 半导体 
MOCVD法以NO气体为掺杂源生长p型ZnO薄膜被引量:13
《Journal of Semiconductors》2005年第1期38-41,共4页徐伟中 叶志镇 周婷 赵炳辉 朱丽萍 黄靖云 
国家重点基础研究专项基金 (批准号 :G2 0 0 0 0 683 0 6);国家自然科学基金 (批准号 :90 2 0 10 3 8)资助项目~~
采用金属有机化学气相沉积方法在玻璃上生长了掺氮的低电阻p型ZnO薄膜 .实验使用NO和N2 O共同作为氧源 ,且NO同时作为掺氮源 ,二乙基锌作为锌源 .X射线衍射测试表明薄膜具有c轴择优取向的结构特性 ,二次离子质谱分析证实了氮被掺入了Zn...
关键词:P型 ZNO 金属有机化学气相沉积 
AlGaN肖特基势垒二极管的研制被引量:1
《浙江大学学报(工学版)》2004年第10期1244-1247,共4页邵庆辉 叶志镇 黄靖云 赵炳辉 江红星 林景瑜 
国家重大基础研究项目基金资助项目(G2000068306).
为研制适合高温高压下工作的整流器件,利用金属有机化学气相淀积(MOCVD)技术生长的AlGaN/GaN/蓝宝石材料,采用电子束蒸发的方法,用Au和Ti/Al分别作为肖特基接触和欧姆接触的电极,制备了AlGaN肖特基二极管,并对其工艺过程和器件特性进行...
关键词:ALGAN 肖特基势垒二极管 势垒高度 
铝氮共掺制备p型ZnO薄膜的电学性能研究被引量:4
《真空科学与技术学报》2004年第6期408-410,共3页张正海 叶志镇 朱丽萍 赵炳辉 诸葛飞 吕建国 
国家重点基础研究项目基金资助(No.G2000068306);国家自然科学基金重点项目(No.90201038);国家自然科学基金项目(No.60340460439)
本文通过直流反应磁控溅射 ,采用Al+N共掺的方法在N2 O—O2 气氛下制备p型ZnO薄膜。结果表明 ,衬底温度为 5 0 0℃时共掺所得p型ZnO的载流子浓度最高 ,并且比单独掺氮时高近 3个数量级。本文还讨论了生长气氛对薄膜电学性能的影响 ,当...
关键词:电学性能 ZNO薄膜 掺氮 迁移率 载流子浓度 衬底温度 直流反应磁控溅射 个数 空穴 数量级 
p型导电掺In的SnO_2薄膜的制备及表征被引量:16
《物理学报》2004年第12期4330-4333,共4页季振国 何振杰 宋永梁 
国家重点基础研究专项基金 (批准号 :G2 0 0 0 0 683 0 6);国家高技术研究发展计划 (批准号:2 0 0 3AA 3 A19 1)资助的课题~~
采用溶胶 凝胶提拉法成功地制备了p型导电掺In的SnO2 薄膜 .x射线衍射测试结果表明 ,掺In的SnO2 薄膜保持SnO2 的金红石结构 .吸收谱测试结果表明 ,掺In的SnO2 禁带宽度为 3 8eV .霍尔测量结果表明 ,空穴浓度与热处理温度有很大的关系 ...
关键词:SNO2薄膜 吸收谱 提拉法 空穴 原子 禁带宽度 表征 导电 制备 热处理温度 
直流反应磁控溅射Al,N共掺方法生长p型ZnO薄膜及其特性被引量:11
《Journal of Semiconductors》2004年第6期668-673,共6页袁国栋 叶志镇 曾昱嘉 吕建国 钱庆 黄靖云 赵炳辉 朱丽萍 
国家重点基础研究专项经费 (批准号 :G2 0 0 0 0 683 0 6);国家自然科学基金(批准号 :90 2 0 10 3 8)资助项目~~
报道了利用直流反应磁控溅射以Al,N共掺杂技术生长p型ZnO薄膜 .ZnO薄膜在不同衬底温度下沉积于α Al2 O3 (0 0 0 1)衬底上 ,N来自NH3 与O2 的生长气氛 ,Al来自ZnxAl1-x(x =0 9)靶材 .利用XRD ,AFM ,Hall,SIMS和透射光谱对其性能进行了...
关键词:Al N共掺杂技术 p-ZnO 直流反应磁控溅射 
硅基光致发光膜:(Zn_2SiO_4/Si):Tb/Mn的制备被引量:1
《真空科学与技术学报》2004年第3期238-240,共3页赵士超 季振国 刘坤 宋永梁 杨永德 
国家基础研究发展规划项目 (No .G2 0 0 0 0 683 0 6) ;自然科学基金重大项目 (No .90 2 0 10 3 8)
利用溶胶 凝胶涂膜技术及高温固相反应技术 ,在硅片表面生长了掺铽和锰的两种高效硅基光致发光膜。XRD和吸收光谱分析测试结果表明 ,当固相反应温度高于 85 0℃时 ,在硅片表面形成了晶态的Zn2 SiO4薄膜。荧光光谱实验结果表明这种利用...
关键词:硅酸锌 固相反应 硅基光电薄膜 发光基体 制备 掺杂 
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