国家高技术研究发展计划(2003AA404140)

作品数：17被引量：61H指数：4
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相关作者：李德胜张永华丁桂甫蔡炳初刘本东更多>>
相关机构：北京工业大学上海交通大学哈尔滨工业大学华东师范大学更多>>
相关期刊：《微纳电子技术》《机械科学与技术》《中国电机工程学报》《传感技术学报》更多>>
相关主题：MEMS双稳态微驱动器优化设计牺牲层技术更多>>
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基于线性平均的强化学习函数估计算法
《吉林大学学报（工学版）》2008年第6期1407-1411,共5页陶隽源 孙金玮 李德胜 
“863”国家高技术研究发展计划项目(2003AA404140)
提出了一种基于最小线性平均的强化学习算法,用于解决连续空间下强化学习函数估计的非收敛性问题。该算法基于梯度下降法,根据压缩映射原理,通过采用线性平均法作为值函数估计的性能衡量标准,把值函数估计的迭代过程转化为一个收敛于不...
关键词：自动控制技术 强化学习 线性平均 函数估计 梯度下降法 
一种双稳态微机械电磁继电器的闭合碰撞特性分析与测试被引量：3
《低压电器》2008年第5期9-12,共4页李金超 张流强 李跃文 刘青锋 张静 
国家863计划MEMS重大专项基金项目资助(2003AA404140)
对一种双稳态微机械电磁继电器的闭合碰撞特性进行动力学分析,根据该继电器机械系统的特点建立了碰撞模型,分析了继电器碰撞时间,并讨论了理论和测试结果。结果表明,碰撞时间可分为固定不变的碰撞闭合时间和不断衰减的碰撞断开时间,前...
关键词：微机械 继电器 碰撞 测试 
基于UV-LIGA技术的电磁型射频MEMS开关的集成制作被引量：1
《微细加工技术》2007年第5期56-60,共5页张永华 欧阳炜霞 汪红 丁桂甫 蔡炳初 赖宗声 
国家863计划资助项目(2003AA404140);信息产业部电科院预研资助项目(41308050116);国家自然科学基金资助项目(60676047);上海-应用材料研究发展基金资助项目(06SA11);上海交通大学优秀博士学位论文基金资助项目
电磁型MEMS开关比静电式的结构复杂,一体化集成加工困难。对于新型电磁驱动双稳态RF MEMS开关进行了材料的选择,并对一些主要材料的电镀和悬空结构的制备与释放进行了工艺优化研究。经过工艺整合,实现了电磁型RF MEMS开关的多种非硅材...
关键词：微机电系统 射频开关 双稳态 电磁驱动 集成加工 
新型RF MEMS开关的动态表征
《华东师范大学学报（自然科学版）》2007年第5期118-122,140,共6页张永华 刘蕾 丁桂甫 蔡炳初 赖宗声 
国家863计划(2003AA404140);信息产业部电科院预研(41308050116);国家自然科学基金(60676047);上海-应用材料研究发展基金(06SA11);上海交通大学优秀博士学位论文基金
一种基于UV-LIGA加工技术的双稳态电磁型RF MEMS开关,由于其结构使用了永磁体单元而使得开关在维持"开"或"关"态时不需要功耗,从而实现低功耗的电磁驱动.利用非接触式Wyko NT1 100光学轮廓仪所附带的动态测量系统(DMEMS),对开关的动态...
关键词：微电子机械系统 射频开关 双稳态 动态测量 
小量程、高灵敏度微压力传感器的优化设计被引量：8
《微细加工技术》2007年第4期50-53,64,共5页种传波 李德胜 刘本东 
国家863项目资助(2003AA404140)
为了提高小量程微压力传感器的灵敏度,提出了一种新结构模型,通过理论分析,发现硅膜越薄,量程越小,灵敏度越高。并对此模型进行ANSYS应力仿真,发现在小量程负荷条件下,新结构模型应力峰值约为10.7 MPa,C型硅杯应力峰值为2.25 MPa,E型硅...
关键词：微压力传感器 小量程 高灵敏度 仿真 
一种单稳态微电磁继电器的研究被引量：2
《光学精密工程》2007年第4期543-549,共7页刘本东 李德胜 杨晓波 
国家863计划资助项目(No.2003AA404140)
优化设计出一种微电磁继电器,介绍了其驱动原理,通过对微电磁继电器的电磁驱动力及活动衔铁的位移进行分析计算,设计了微电磁继电器的三维结构,以增大磁路效率,减小漏磁通,从而增加电磁驱动力。采用MEMS加工工艺,试制了该新型微电磁继...
关键词：微电磁继电器 微驱动器 MEMS 
微机械继电器的研究及进展被引量：3
《微纳电子技术》2007年第2期88-92,110,共6页刘本东 李德胜 
国家863项目资助(2003AA404140)
对静电驱动微继电器、热驱动微继电器和电磁驱动微继电器的驱动原理和特点分别进行了分析, 介绍了国内外具有代表性的几种微继电器的结构、制作工艺、关键部件的尺寸, 并探索了静电驱动、热驱动和电磁驱动微继电器的发展前景。
关键词：微继电器 微驱动器 微机电系统 
一种新型MEMS微驱动器的设计与仿真分析被引量：3
《传感器与微系统》2006年第12期85-88,共4页张永华 王艳 丁桂甫 马骏 赵小林 蔡炳初 
国家"863"计划资助项目(2003AA404140);国家自然科学基金资助项目(10377009);教育部科学技术研究重大项目(0307)
提出并设计了具有双稳态功能的新型电磁型MEMS微驱动器结构形式。微驱动器由导磁的两端固支的扭梁、两端可自由摆动的悬臂梁,以及永磁体、下磁路和平面线圈组成。永磁体的使用,实现了器件的双稳态功能,从而可以得到低功耗的磁驱动器。...
关键词：微电子机械系统 电磁型微驱动器 双稳态 有限元法 仿真分析 
显微立体视觉中体视显微镜双光路相关性的研究被引量：1
《北京工业大学学报》2006年第8期724-729,共6页王跃宗 李德胜 于亚萍 
国家863MEMS重大专项(2003AA404140);北京工业大学基金(52001999200401).
基于体视显微镜的显微立体视觉系统已经在微操作系统中得到应用．体视显微镜的2个子光路之间存在耦合关系,耦合程度与光路结构及物点在视场中的位置有关,建立了描述体视显微镜双光路耦合关系的相关函数,且对相关性进行了量化,量化结果...
关键词：立体视觉 显微成像 微操作 微装配 
用于MEMS的叠层光刻胶牺牲层技术(英文)被引量：6
《传感技术学报》2006年第05A期1422-1425,共4页张永华 丁桂甫 姜政 蔡炳初 赖宗声 
国家高技术研究发展计划资助(2003AA404140);国家信息工业部科学基金资助(41308050116);国家自然科学基金资助(10377009)
研究了用于制备悬空结构的叠层光刻胶牺牲层工艺.讨论了工艺中常遇到的烘胶汽泡、龟裂、起皱、刻蚀电镀种子层时产生的絮状物和悬空结构释放时的粘附等问题,并提出了相应的解决办法.借助于分层刻蚀法和逐步替换法,用叠层光刻胶作牺牲层...
关键词：MEMS 微结构 光刻胶 牺牲层 
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