云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 光刻

光刻: 作品数：4824被引量：6297H指数：23; 导出分析报告; 相关领域：电子电信更多>>; 相关作者：罗先刚胡松李艳秋王向朝刘明更多>>; 相关机构：ASML荷兰有限公司中国科学院中芯国际集成电路制造(上海)有限公司中国科学院微电子研究所更多>>; 相关期刊：更多>>; 相关基金：国家自然科学基金国家科技重大专项国家重点基础研究发展计划国家高技术研究发展计划更多>>

基于双表面等离子激元吸收的纳米光刻被引量：1: 《物理学报》2017年第14期208-215,共8页刘仿李云翔黄翊东; 国家重点基础研究发展计划(批准号:2013CBA01704);国家自然科学基金(批准号:61575104;61621064)资助的课题~~; 光刻技术(lithography)是微纳结构制备的关键技术之一.受限于光的衍射极限,传统光刻方法进一步缩小特征尺寸变得越来越难.表面等离子激元(surface plasmon polariton,SPP)作为光与金属表面自由电子密度振荡相互耦合形成的一种特殊电磁形...; 关键词：表面等离子激元纳米光刻光学非线性衍射极限

纳米集成电路互连线建模和光刻仿真中的大规模并行计算方法被引量：5: 《中国科学：信息科学》2016年第10期1372-1391,共20页朱恒亮曾璇崔涛严昌浩张林波; 国家重点基础研究发展计划(973计划)(批准号:2011CB309701;2011CB309703);国家高技术研究发展计划(863计划)(批准号:2012AA01A30901);国家重点研发计划高性能计算重点专项项目(批准号:2016YFB0201304);国家自然科学基金(批准号:61376040;61574046;91330201;61274032;91430215;91530323;11321061);中国科学院国家数学与交叉科学研究中心(NC MIS)资助项目; 集成电路规模庞大、结构复杂,随着集成电路制造工艺进入纳米尺度,复杂制造工艺中的工艺波动严重影响电路性能,给集成电路设计带来了巨大的挑战.集成电路互连线建模与光刻仿真涉及大规模Maxwell方程的数值求解,计算复杂度高、规模庞大....; 关键词：大规模集成电路建模寄生参数提取光刻工艺有限元方法随机行走方法

光刻胶纳米结构失效现象的光学特性分析: 《新技术新工艺》2016年第9期66-69,共4页柏杨张晓波熊瑛刘刚田扬超; 国家重点基础研究发展计划(973计划)项目(2012CB825804); 具有纳米结构的光刻胶有着独特的光学特性,其纳米结构参数直接决定其光学特性。通过对光栅脊柱倾斜、粘连和倒伏堆叠这3种结构失效现象建模,利用严格耦合波理论数值,计算了各种失效结构对偏振光的反射率影响。结果表明,脊柱倾斜的纳米...; 关键词：微纳加工结构失效严格耦合波分析偏振

6H-SiC单晶的激光刻蚀及光谱分析（英文）被引量：3: 《光谱学与光谱分析》2016年第4期1255-1260,共6页郁万成胡小波崔潆心陈秀芳徐现刚; National Basic Research Program of China under Grant(2011CB301904);Natural Science Foundation of China under Grant(11134006and 51321091); 激光微加工是半导体精密加工的一个有效方法。对于碳化硅(SiC)单晶,使用紫外波段激光可以获得对入射能量最大的吸收效率。使用355nm全固态激光器对6H-SiC单晶进行刻蚀。同时将样品置于不同的介质下以探究最优加工条件。使用拉曼光谱表...; 关键词：碳化硅激光刻蚀拉曼光谱能量色散谱

基于永磁直线同步电机的光刻机掩模台鲁棒自适应神经网络控制被引量：19: 《电工技术学报》2016年第6期38-46,共9页王一光李晓杰陈兴林; 国家重点基础研究发展计划(973计划)(10007.07-LB7);国家科技重大专项(2009ZX02207)资助项目; 针对光刻机掩模台宏动永磁直线同步电机(PMLSM)提出一种鲁棒自适应神经网络轨迹跟踪补偿控制策略。该策略的主要特点是采用径向基函数(RBF)神经网络实时在线进行模型参数不确定性和各种外界非线性扰动的估计。为了验证策略的效果,建立...; 关键词：永磁直线同步电机光刻机掩模台鲁棒自适应神经网络运动控制

表面等离子体超衍射光学光刻被引量：7: 《科学通报》2016年第6期585-599,共15页王长涛赵泽宇高平罗云飞罗先刚; 国家重点基础研究发展计划(2013CBA01700);国家自然科学基金(61575204)资助; 由于光波衍射特性,传统光学光刻面临分辨力衍射极限限制,成为传统光学光刻技术发展的原理性障碍。表面等离子体（surface plasmon,SP）是束缚在金属介质界面上的自由电子密度波,具有突破衍射极限传输、汇聚和成像的独特性能。近年来,通...; 关键词：表面等离子体光学光刻超分辨衍射极限

亚波长金属块阵列的太赫兹传感芯片被引量：1: 《光电工程》2016年第1期82-87,共6页王思江毛洪艳夏良平杨忠波魏东山崔洪亮杜春雷; 国家973项目(2015CB755401)资助;国家自然科学基金项目(21407145)资助;重庆市基础前沿项目(cstc2013jcyjC00001)资助; 光波波段的生化传感器件已很常见且可实现单分子探测,但由于光波波长在纳米量级,制作出的器件的结构尺寸小、加工难度大、传感重复性较差。因此,本文提出一种亚波长金属块阵列结构的太赫兹(Terahertz,THz)传感芯片,在理论上基于法布里-...; 关键词：亚波长金属结构正交光刻太赫兹传感

Developments at SSRF in soft X-ray interference lithography被引量：3: 《Nuclear Science and Techniques》2015年第1期1-7,共7页杨树敏王连升赵俊薛超凡刘海岗许子建吴衍青邰仁忠; Supported by the National Key Basic Research Program of China(No.2012CB825700);the Open Research Project of Large Scientific Facility from Chinese Academy of Sciences:Study on Self-Assembly Technology and Nanometer Array with Ultra-high Density; The soft X-ray interference lithography(XIL) branch beamline at Shanghai Synchrotron Radiation Facility(SSRF) is briefly introduced in this article. It is designed for obtaining 1D(line/space) and 2D(dot/hole)periodic...; 关键词：上海同步辐射装置干涉光刻软X射线表面增强拉曼散射光源纳米结构光束线 SSRF

光刻机工件台宏动三自由度建模及自适应神经网络控制被引量：4: 《光学精密工程》2015年第1期132-140,共9页王一光陈兴林李晓杰; 国家973重点基础研究发展计划资助项目(No.973-10007.07-LB7);国家重大科技专项资助项目(No.2009ZX02207); 提出了一种工件台宏动三自由度建模方法以解决光刻机工件台宏动部分在X和Y方向的运动耦合问题并实现它的超精密长行程微米精度的跟踪定位。该建模方法将X方向电机的偏转角度作为被控对象并且在模型中包含了耦合效应对X方向运动的影响。...; 关键词：光刻机宏动工件台三自由度建模自适应神经网络

应用微波技术抑制光刻胶图形的坍塌与黏连被引量：3: 《光学精密工程》2015年第1期149-156,共8页于明岩施云波赵士瑞郭晓龙徐昕伟景玉鹏陈宝钦; 国家科技重大专项资助项目(No.2009ZX02037-007);国家973重点基础研究发展计划资助项目(No.2006CB932600);国家自然科学基金资助项目(No.61078060); 针对显影工艺中水的表面张力导致的高高宽比抗蚀剂图形的坍塌及黏连,提出了一种基于微波加热的干燥技术来有效改善纳米抗蚀剂图形的干燥效果。该方法利用微波穿透光刻胶结构直接加热光刻胶图形间隙中残存的去离子水,水分子吸收微波的光...; 关键词：电子束光刻光刻胶图形坍塌黏连高宽比微波加热

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