MPCVD

作品数：221被引量：368H指数：10
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新型MPCVD金刚石膜等离子发生器及等离子特性数值模拟被引量：4
《人工晶体学报》2010年第4期867-871,共5页李晓静 于盛旺 张思凯 唐伟忠 吕反修 
国家自然科学基金(No.10675017);高等学校博士学科点专项科研基金资助课题(No.20060008013)
本文提出了用于化学气相沉积金刚石膜的新型微波等离子体发生器。使用环形介质窗口,置于沉积台的下方而远离等离子体,允许产生体积较大并且温度较高的等离子体。采用时域有限差分法结合Matlab语言,模拟了发生器内的电场分布和等离子体...
关键词：等离子反应腔 数值模拟 时域有限差分法 电子密度 
MPCVD掺硼金刚石薄膜的制备及Ti/BDD电极上对硝基酚的阳极氧化测试(英文)被引量：6
《人工晶体学报》2009年第2期422-425,共4页魏俊俊 贺琦 高旭辉 吕反修 陈广超 朱秀萍 倪晋仁 
采用微波等离子体技术在CH4-H2-C2H6气体条件下制备了钛基掺硼金刚石薄膜。四点探针法测得薄膜电阻率在零掺杂时为1×1012Ω·cm,当反应气源中B/C上升为5×10-3时电阻率降至5×10-3Ω·cm。扫描电镜显示掺硼金刚石具有完整晶型和致密结...
关键词：Ti/BDD电极 微波等离子体 化学气相沉积 对-硝基酚 阳极氧化 
MPCVD方法制备军用光学元件纳米金刚石膜被引量：6
《光学技术》2004年第2期184-186,共3页王小兵 吝君瑜 王古常 孙斌 程勇 吕反修 杨武保 
国防科学基金资助项目
介绍了用MPCVD方法制备纳米金刚石膜的工艺。用MPCVD方法实验研究了在光学玻璃上镀纳米金刚石膜:膜层厚度为0 4551μm,粒度小于200nm,表面粗糙度小于29 5nm,最大透过率为80%;平均显微硬度为34 9GPa,平均体弹性模量为238 9GPa,均接近天...
关键词：军用光学元件 纳米金刚石膜 MPCVD 制备 微波等离子体辅助化学气相沉积 
用于X射线光刻掩模的纳米金刚石膜成核研究被引量：1
《无机材料学报》2004年第4期887-894,共8页李东辉 刘志凌 叶甜春 陈大鹏 吕反修 
介绍了金刚石膜在下一代X射线光刻掩模中应用的必要性;通过调节衬底温度,改变生长时间、控制甲烷浓度等工艺措施,实验研究了不同参数对成核密度及成核质量的影响,获得了高密度形核的样品;对形核后的预生长期进行了工艺优化,有效地控制...
关键词：成核 金刚石薄膜 MPCVD X射线光刻掩模 
含金刚石的复相过渡层及Al_2O_3衬底上金刚石薄膜的附着力被引量：4
《金刚石与磨料磨具工程》2004年第1期37-40,共4页赵中琴 唐伟忠 苗晋琦 吕反修 李成明 陈广超 杨志威 
采用微波等离子体化学气相沉积的方法,以H_2和八甲基环四硅氧烷(D_4)为原料,在H_2(Ⅱ):H_2(Ⅰ,为带动D_4的载气)的流量比23:1,P=5332.88Pa,Ts=850℃左右的工艺条件下,制备了含有金刚石及一定量SiO_2和SiC的复相薄膜。初步的实验结果表明...
关键词：微波等离子体化学气相沉积 金刚石薄膜 复相薄膜 过渡层 MPCVD 
金刚石薄膜光学镀层材料的应力特性研究
《光学与光电技术》2003年第1期57-60,共4页王小兵 程勇 吕反修 王古常 孙斌 吝君瑜 杨武保 
金刚石膜作为光学镀层时,应力的控制是一项关键技术,本文实验研究了金刚石膜和类金刚石膜作为光学镀层材料时的应力特性,并对此进行了分析。
关键词：金刚石膜 光学镀层 MPCVD PLD 
MPCVD纳米金刚石膜的微观结构及显微力学特性分析被引量：2
《中国表面工程》2000年第4期19-21,共3页杨武保 吕反修 唐伟忠 刘玉龙 朱克 
国家863项目基金
利用微波等离子体化学气相沉积技术在光学玻璃衬底上制备了金刚石膜，利用原子力显微镜技术及显微力学探针研究了膜层的表面形貌及显微力学特性。结果表明，金刚石膜的晶粒尺寸小于100 nm，表面粗糙度小于10 nm，具有极高的显微硬度及...
关键词：金刚石膜 表面形貌 显微力学特性 MPCVD 
MPCVD法纳米金刚石膜的制备及分析被引量：7
《人工晶体学报》2000年第1期54-58,共5页杨武保 吕反修 唐伟忠 佟玉梅 于文秀 
利用MPCVD方法在玻璃基片上成功的制备了非常光滑、致密均匀的纳米金刚石膜。沉积工艺分为两步 :成核 ,CH4 /H2 =3% ;生长 ,O2 /CH4 /H2 =0 .3∶3∶10 0 ;沉积过程中保持工作压力为 4 .0kPa ,衬底温度 50 0℃。拉曼、透射电镜、红外光...
关键词：MPCVD 纳米金刚石膜 拉曼光谱 红外光谱 薄膜 
微波等离子体CVD金刚石薄膜的显微结构被引量：5
《北京科技大学学报》1994年第3期245-249,共5页袁逸 杨保雄 白元强 王建军 吕反修 
技术新材料专家委历会资助
用扫描电镜（ＳＥＭ）和透射电镜（ＴＥＭ）对６种微波等离子体ＣＶＤ金刚石薄膜的表面形态和显微结构进行了研究．结果表明：在金刚石晶粒长大过程中，（１１１）面方向长大时产生密度很高的微孪晶缺陷，而（１００）面方向长大时产生...
关键词：金刚石 薄膜 显微结构 MPCVD 
MPCVD低温沉积金刚石薄膜及其特征被引量：5
《北京科技大学学报》1992年第2期168-175,共8页吕反修 杨保雄 蒋高松 
国家高技术发展项目
应用微波等离子体辅助的化学气相沉积(MPCVD)工艺成功地实现了金刚石薄膜在700-790℃范围内的低温沉积.发现氧在CH_4-H_2系统中的引入不仅可以减小或消除Raman谱上位于1550cm^(-1)的非金刚石特征峰,而且还使位于1332cm^(-1)的金刚石特...
关键词：金刚石薄膜 低温沉积 微波等离子体 
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