国家自然科学基金(61076097)

作品数:22被引量:24H指数:3
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总剂量辐照下沟道长度对部分耗尽绝缘体上硅p型场效应晶体管电特性的影响被引量:1
《物理学报》2014年第1期262-267,共6页刘红侠 王志 卓青青 王倩琼 
国家自然科学基金(批准号:61076097,11235008);中央高校基本科研业务费专项资金(批准号:20110203110012)资助的课题~~
本文通过实验研究了0.8μm PD(Partially Depleted)SOI(Silicon-On-Insulator)p型Metal-oxidesemiconductor-feld-efect-Transistor(MOSFET)经过剂量率为50 rad(Si)/s的60Coγ射线辐照后的总剂量效应,分析了沟道长度对器件辐照效应的影...
关键词:总剂量辐照 阈值电压漂移 跨导退化 界面陷阱电荷 
三维H形栅SOINMOS器件总剂量条件下的单粒子效应被引量:2
《物理学报》2013年第17期380-385,共6页卓青青 刘红侠 王志 
国家自然科学基金(批准号:61076097,60936005);中央高校基本科研业务费专项资金(批准号:200110203110012)资助的课题~~
本文通过数值模拟研究了H形栅SOI NMOS器件在总剂量条件下的单粒子效应.首先通过分析仿真程序中影响迁移率的物理模型,发现通过修改了的由于表面散射造成迁移率退化的Lombardi模型,仿真的SOI晶体管转移特性和实测数据非常符合.然后使用...
关键词:单粒子脉冲电流 漏极收集电荷 总剂量效应 
Evidence of GeO volatilization and its effect on the characteristics of HfO_2 grown on a Ge substrate被引量:2
《Chinese Physics B》2013年第3期501-504,共4页樊继斌 刘红侠 费晨曦 马飞 范晓娇 郝跃 
Project supported by the National Natural Science Foundation of China (Grant Nos. 60976068 and 61076097);the Cultivation Fund of the Key Scientific and Technical Innovation Project of the Ministry of Education of China (Grant No. 708083)
HfO2 films are deposited by atomic layer deposition(ALD) using tetrakis ethylmethylamino hafnium(TEMAH) as the hafnium precursor,while O3 or H2O is used as the oxygen precursor.After annealing at 500℃ in nitrogen...
关键词:GeO volatilization H2 O-based HfO2 O3-based HfO2 thermal stability 
Influences of different oxidants on the characteristics of HfAlO_x films deposited by atomic layer deposition
《Chinese Physics B》2013年第2期487-491,共5页樊继斌 刘红侠 马飞 卓青青 郝跃 
Project supported by the National Natural Science Foundation of China (Grant Nos. 60976068 and 61076097);the Cultivation Fund of the Key Scientific and Technical Innovation Project,Ministry of Education of China (Grant No. 708083)
A comparative study of two kinds of oxidants(H2O and O3) with the combinations of two metal precursors [trimethylaluminum(TMA) and tetrakis(ethylmethylamino) hafnium(TEMAH)] for atomic layer deposition(ALD) ...
关键词:HfAlOx atomic layer deposition OXIDANTS ANNEALING 
总剂量辐照条件下部分耗尽半导体氧化物绝缘层N沟道金属氧化物半导体器件的三种kink效应
《物理学报》2013年第3期244-249,共6页卓青青 刘红侠 彭里 杨兆年 蔡惠民 
国家自然科学基金(批准号:61076097;60936005);教育部科技创新工程重大项目培育资金(批准号:708083);中央高校基本科研业务费专项资金(批准号:200110203110012)资助~~
研究了0.8μm SOINMOS晶体管,经过剂量率为50rad(Si)/s的60Coγ射线辐照后的输出特性曲线的变化趋势.研究结果表明,经过制造工艺和版图的优化设计,在不同剂量条件下,该样品均不产生线性区kink效应.由碰撞电离引起的kink效应,出现显著变...
关键词:总剂量效应 KINK效应 碰撞电离 背栅异常跨导 
前驱体和退火温度对Nd_2O_3薄膜组分影响的定量研究
《物理学报》2013年第3期367-373,共7页张旭杰 刘红侠 范小娇 樊继斌 
国家自然科学基金(批准号:61076097;60936005);教育部科技创新工程重大项目培育资金(批准号:708083);中央高校基本科研业务费专项资金(批准号:20110203110012)资助~~
采用Nd(thd)3和O3作为反应前驱体,利用先进的原子层淀积方法在P型硅(100)衬底上制备了超薄Nd2O3介质膜,并在N2气氛下进行了退火处理.采用X射线光电子能谱仪对薄膜样品组分进行分析.研究结果表明,淀积过程中将前驱体温度从175℃提高到18...
关键词:原子层淀积 ND2O3 前驱体温度 X射线光电子能谱仪 
栅长对PD SOI NMOS器件总剂量辐照效应影响的实验研究被引量:1
《物理学报》2012年第24期125-130,共6页彭里 卓青青 刘红侠 蔡惠民 
国家自然科学基金(批准号:61076097;60936005);教育部科技创新工程重大项目培育资金(批准号:708083);中央高校基本科研业务费专项资金(批准号:20110203110012)资助的课题~~
本文对PD SOI NMOS器件进行了60Coγ射线总剂量辐照的实验测试,分析了不同的栅长对器件辐射效应的影响及其物理机理.研究结果表明,短沟道器件辐照后感生的界面态密度更大,使器件跨导出现退化.PD SOI器件的局部浮体效应是造成不同栅长器...
关键词:PD SOI NMOS 总剂量辐照效应 栅长 偏置状态 
考虑量子效应的高k栅介质SOI MOSFET特性研究被引量:3
《物理学报》2012年第24期470-475,共6页曹磊 刘红侠 
国家自然科学基金(批准号:61076097;60936005);教育部科技创新工程重大项目培育资金(批准号:708083);中央高校基本科研业务费专项资金(批准号:20110203110012)资助的课题~~
本文主要研究考虑量子效应的高k栅介质SOIMOSFET器件特性.通过数值方法自洽求解薛定谔方程和泊松方程,得到了垂直于SiO2/Si界面方向上载流子波函数及能级的分布情况,结合Young模型,在考虑短沟道效应和高k栅介质的情况下,对SOIMOSFET的...
关键词:量子化效应 高K材料 SOI MOSFET 阈值电压 
低剂量率^(60)Co γ射线辐照下SOI MOS器件的退化机理被引量:2
《物理学报》2012年第24期403-409,共7页商怀超 刘红侠 卓青青 
国家自然科学基金(批准号:61076097;60976068;60936005);教育部科技创新工程重大项目培育资金(批准号:708083);中央高校基本科研业务费专项资金(批准号:20110203110012)资助的课题~~
本文通过实验分析了0.8μm工艺H形栅SOI MOS器件在低剂量率下的γ射线总剂量效应.实验结果表明,总剂量相同时,低剂量率的辐照效应更严重,关态偏置条件下的阈值电压漂移大于开态,辐照引起NMOS器件发生kink效应时的漏极电压VD升高.研究结...
关键词:低剂量率 总剂量效应 KINK效应 跨导 
偏置条件对SOI NMOS器件总剂量辐照效应的影响被引量:5
《物理学报》2012年第22期167-172,共6页卓青青 刘红侠 杨兆年 蔡惠民 郝跃 
国家自然科学基金(批准号:61076097;60936005);教育部科技创新工程重大项目培育资金(批准号:708083);中央高校基本科研业务费专项资金(批准号:200110203110012)资助的课题~~
本文研究了0.8μm SOI NMOS晶体管,经剂量率为50rad(Si)/s的60Coγ射线辐照之后的总剂量效应,分析了器件在不同辐照条件和测量偏置下的辐照响应特性.研究结果表明:器件辐照时的栅偏置电压越高,辐照后栅氧化层中积累的空穴陷阱电荷越多,...
关键词:总剂量辐照效应 泄漏电流 栅偏置条件 碰撞电离 
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