国家高技术研究发展计划(2002AA312023)

作品数：9被引量：22H指数：3
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扭臂结构静电驱动式微驱动器动力学特性分析被引量：8
《光电子．激光》2006年第6期658-665,共8页孙东明 董玮 玄伟 刘彩霞 王国东 陈维友 
国家"863"计划资助项目(2002AA312023);吉林大学研究生创新基金资助项目
基于扭转动力学原理,推导了用于分析静电微驱动器的驱动电压、响应时间和其它动力学参数的特性方程。对于忽略和考虑空气阻尼效应的2种情况,分别进行了详细的讨论,计算结果可以用于分析器件处于真空和空气条件下的工作状态。结果表明,...
关键词：微机电系统(MEMS) 微驱动器 静电驱动 动力学分析 空气压膜阻尼 
(110)硅基MEMS光开关光纤定位槽的设计被引量：1
《微细加工技术》2006年第2期45-48,共4页贾翠萍 董玮 周敬然 王丹 臧会东 徐宝琨 陈维友 
国家863计划资助项目(2002AA312023)
利用KOH溶液腐蚀在(110)硅片上制作2×2 MEMS光开关,微反射镜表面光滑且垂直度较好,其质量高于用同样方法在(100)硅片上制作的反射镜,但是却存在自对准V型槽难以实现的问题。依据(110)硅片的结晶学特点,设计并制作了夹角为38.94°的两...
关键词：光开关 (110)硅片 耦合 锯齿状沟槽 
(110)硅基光纤定位槽的研究被引量：1
《半导体光电》2006年第1期34-36,共3页贾翠萍 董玮 徐宝琨 周敬然 王丹 陈维友 
国家"863"计划资助项目(2002AA312023)
利用(110)硅片在KOH溶液中各向异性腐蚀制作出两个互相垂直的光纤定位槽。由于在该方位腐蚀出的不标准的V型槽,难以对此精确设计来固定光纤。设计了利用KOH溶液定向腐蚀制作出的平行四边形蚀坑串,所形成的锯齿状沟槽结构来固定光纤。依...
关键词：KOH (110)硅片 锯齿状沟槽 凸角 
MOEMS光开关动力学过程分析被引量：2
《Journal of Semiconductors》2005年第7期1448-1453,共6页孙东明 董玮 郭文滨 刘彩霞 王国东 徐宝琨 陈维友 
国家高技术研究发展计划(批准号:2002AA312023);国家自然科学基金(批准号:69937019);吉林省科技发展计划(批准号:20010319)资助项目~~
采用静电力驱动方式的MOEMS光开关,从运动机制上来说,是由静电力矩、恢复力矩、空气压膜阻尼力矩以及重力力矩等条件共同作用的结果.对于微驱动器驱动条件的研究,不能单纯地从力矩平衡的角度来分析,应从动力学出发,才能较好地描述其运...
关键词：MOEMS 动力学分析 角速度 倾斜下电极 
KOH溶液中(110)硅片腐蚀特性的研究被引量：3
《半导体技术》2005年第6期52-55,共4页贾翠萍 董玮 徐宝琨 潘建旋 周敬然 陈维友 
国家重点计划863项目(2002AA312023)
研究了在KOH溶液中(110)硅片的腐蚀特性,在保证(110)面的平整和｛111｝面的光滑的腐蚀实验条件下,利用(110)面和｛111｝面腐蚀选择比大,采用湿法腐蚀技术可以制作高深宽比结构的方式,在(110)硅片上设计制作出光开关用微反射镜。在腐蚀...
关键词：KOH溶液 (110)硅片 凸角 悬挂键 
利用(110)硅片制作体硅微光开关的工艺研究被引量：5
《Journal of Semiconductors》2004年第1期99-103,共5页张龙 董玮 张歆东 刘彩霞 陈维友 徐宝琨 
国家高技术研究发展计划(批准号:2002 AA312023);国家自然科学基金(批准号:69937010);吉林省科学计划(批准号:20010319);跨世纪优秀人才培养计划基金资助项目
采用基于湿法腐蚀工艺的体硅微机械加工方法,利用(110)硅片结晶学特性,通过光刻、反应离子刻蚀和湿法刻蚀等工艺,在硅片上同时制作出微光开关的微反射镜结构、悬臂梁结构、扭臂梁结构和光纤定位槽结构,器件的一致性好,制作工艺简单.利...
关键词：微反射镜 {111}面 湿法腐蚀 粗糙度 氢氧化钾溶液 
低电压缴反射镜型微机械光开关的设计与制作被引量：1
《高技术通讯》2003年第7期46-49,共4页董玮 阮圣平 张歆东 刘彩霞 贾翠萍 潘建旋 张龙 孙东明 纪平 陈维友 
863计划 ( 2 0 0 2AA3 12 0 2 3 );国家自然科学基金 ( 6993 70 10 );吉林省科学计划发展 ( 2 0 0 10 3 19)资助项目
利用 (1 0 0 )硅片和偏 2 5°的 (1 1 1 )硅片制作了静电驱动扭臂结构微反射镜型 2× 2光开关。微反射镜、自对准V型槽和扭臂结构是在 (1 0 0 )硅片上制作的 ,反射镜与光纤槽之间靠晶向自对准 ,反射镜与光轴垂直度较好。在偏 2 5°的 ...
关键词：微机械 光开关 微反射镜 硅 静电驱动 扭臂结构 倾斜下电极 自对准V型糟 制作方法 全光网络 
利用(110)硅片制作微反射镜
《吉林大学学报(信息科学版)》2003年第2期97-99,共3页张龙 董玮 刘彩霞 张歆东 陈维友 徐宝琨 
国家863计划资助项目(2002AA312023);国家自然科学基金资助项目(69937010);吉林省科学计划资助项目(20010319);跨世纪优秀人才培养计划基金资助项目(200248)
采用体硅微机械加工方法,通过光刻、反应离子刻蚀和氢氧化钾水溶液湿法刻蚀等工艺,根据(110)硅片结晶学原理,在(110)硅片上制作出微反射镜。微反射镜的镜面为{111}晶面,利用扇形定位区域,精确地沿(110)硅片的{111}晶面进行定向腐蚀,可...
关键词：微反射镜 {111}晶面 刻蚀 
降低扭臂结构微机械光开关驱动电压的新方法被引量：4
《吉林大学学报（信息科学版）》2003年第1期1-3,共3页董玮 阮圣平 张歆冬 刘彩霞 张龙 陈维友 
国家自然科学基金资助项目(69937010);吉林省科学计划发展项目(20010319);863计划资助项目(2002AA312023)
利用机械和电学特性,推导出悬梁的位移与外加电压之间的关系,指出外加电压与扭臂厚度的3次方成正比,随上下电极之间距离的减小而降低。提出了一种具有倾斜下电极的驱动结构,该结构可以通过具有倾斜一定角度的(111)硅片的各向异性腐蚀得...
关键词：微机械光开关 驱动电压 静电驱动 扭臂结构 阈值电压 化学腐蚀 光通信 
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