国家重点基础研究发展计划(2002CB311903)

作品数:35被引量:39H指数:3
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相关作者:刘新宇和致经王晓亮陈晓娟刘键更多>>
相关机构:中国科学院微电子研究所中国科学院四川龙瑞微电子有限公司更多>>
相关期刊:《固体电子学研究与进展》《Journal of Semiconductors》《电子器件》《功能材料与器件学报》更多>>
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Improvements to the extraction of an AlGaN/GaN HEMT small-signal model
《Journal of Semiconductors》2009年第12期25-29,共5页蒲颜 庞磊 王亮 陈晓娟 李诚瞻 刘新宇 
supported by the National Basic Research Program of China(No.2002CB311903);the Key Program of the Chinese Academy of Sciences(No.KGCX2-SW-107)
The accurate extraction of AlGaN/GaN HEMT small-signal models, which is an important step in largesignal modeling, can exactly reflect the microwave performance of the physical structure of the device. A new method of...
关键词:AlGaN/GaN HEMT small-signal model Schottky resistor drain delay 
AlGaN/GaN HEMT栅槽低损伤刻蚀技术被引量:1
《功能材料与器件学报》2009年第2期193-196,共4页黄俊 魏珂 刘新宇 
国家重点基础研究发展规划(批准号:2002CB311903);中国科学院重点创新(批准号:KGCX2-SW-107)资助项目
对AlGaN/GaNHEMT栅槽低损伤刻蚀技术进行研究,通过加入小流量的具有钝化缓冲作用的C2H4,对Cl2/Ar/C2H4的工艺条件进行了优化,有效地降低了栅槽刻蚀造成的AlGaN表面损伤和器件退化,同时防止反应生成物淀积在栅槽表面,改善了肖特基结特性...
关键词:ALGAN/GAN HEMT 凹栅槽 低损伤刻蚀 C2H4 
一个8GHz基于AlGaN/GaN HEMT的内匹配电路被引量:1
《电子器件》2009年第1期24-27,共4页张辉 陈晓娟 刘果果 曾轩 袁婷婷 陈中子 王亮 刘新宇 
国家重点基础研究发展计划(批准号:2002CB311903);中国科学院重点创新工程(批准号:KGCX2-SW-107)
论述了一个在8 GHz下基于AlGaN/GaN HEMT功率放大器HMIC的设计、制备与测试。该电路包含了1个10×100μm的AlGaN/GaN HEMT和输入输出匹配电路。在偏置条件为VDS=40 V、IDS=0.16 A时输出连续波饱和功率在8GHz达到36.5 dBm(4.5 W),PAE为6...
关键词:ALGAN/GANHEMT 内匹配 混合集成电路 功率放大器 
Post-Gate Process Annealing Effects of Recessed AlGaN/GaN HEMTs被引量:1
《Journal of Semiconductors》2008年第12期2326-2330,共5页刘果果 黄俊 魏珂 刘新宇 和致经 
supported by the State Key Development Programfor Basic Research of China(No.2002CB311903);the Key Innovation Program of the Chinese Academy of Sciences(No.KGCX2-S W-107)~~
This paper focuses on how to reduce the gate leakage current caused by plasma dry etching. X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) is employed to measure the AlGaN surface before and after etching. N vacancies are in...
关键词:GAN dry etching gate leakage ANNEALING N vacancy 
AlGaN/GaN HEMTs器件布局对器件性能影响分析被引量:2
《电子器件》2008年第6期1769-1771,1775,共4页刘果果 魏珂 郑英奎 刘新宇 和致经 
国家重点基础研究发展计划资助项目(2002CB311903);中国科学院重点创新资助项目(KGCX2-SW-107)
比较了空气桥跨细栅和空气桥跨栅总线两种源连接结构的1 mm AlGaN/GaN HEMTs器件的特性,对两种结构的管芯进行了等效电路参数提取。测试了两种布局方式下的不同源场板结构器件的射频以及功率性能,比较分析表明,空气桥跨细栅的源连接方...
关键词:ALGAN/GAN HEMT 器件布局 寄生参数 空气桥 
AlGaN/GaN型气敏传感器对于CO的响应研究被引量:2
《Journal of Semiconductors》2008年第7期1387-1390,共4页冯春 王晓亮 王新华 肖红领 王翠梅 胡国新 冉军学 王军喜 
中国科学院知识创新工程(批准号:YYYJ-0701-02);国家自然科学基金(批准号:60576046;60606002);国家重点基础研究发展规划(批准号:2002CB311903;2006CB604905;513270505)资助项目~~
研究了基于AlGaN/GaN型结构的气敏传感器对于CO的传感性.制备出AlGaN/GaN型气敏传感器器件,并测试得到了器件在50℃时对于不同浓度(1%,9000,8000,5000和1000ppm)的CO的响应情况;测试并分析了1%CO在50和100℃下响应度的差异,计算了通入1...
关键词:ALGAN/GAN CO 传感器 
Characterization and Reliability of Thin Film Resistors for MMICs Application Based on AlGaN/GaN HEMTs
《Journal of Semiconductors》2008年第7期1246-1248,共3页姚小江 蒲颜 刘新宇 吴伟超 
国家重点基础研究发展计划(批准号:2002CB311903);中国科学院重点创新(批准号:KGCX2-S W-107)资助项目~~
Tantalum nitride (TAN) and nichrome (NiCr) are the two most common materials used as thin film resistors (TFR) for monolithic microwave integrated circuits (MMIC) based on AlGaN/GaN high electron mobility tran...
关键词:TAN NICR TFR RELIABILITY MMIC 
8W AlGaN/GaN HEMT功率器件的研制被引量:1
《Journal of Semiconductors》2008年第7期1354-1356,共3页刘果果 郑英奎 魏珂 李诚瞻 刘新宇 和致经 
国家重点基础研究发展计划(批准号:2002CB311903);中国科学院重点创新(批准号:KGCX2-SW-107)资助项目~~
报道了基于国产衬底以及国产外延的AlGaN/GaN HEMTX波段功率器件的研究进展.利用国产衬底以及外延材料,优化了器件栅场板的结构,研制成功栅长0.35μm,栅宽为1mm的微波功率器件.该器件输出电流密度达到0.83A/mm,击穿电压大于100V,跨导为2...
关键词:氮化镓 高电子迁移率晶体管 微波功率 栅场板 
Carbon-Induced Deep Traps Responsible for Current Collapse in AlGaN/GaN HEMTs
《Journal of Semiconductors》2008年第6期1066-1069,共4页庞磊 李诚瞻 王冬冬 黄俊 曾轩 刘新宇 刘键 郑英奎 和致经 
国家重点基础研究发展计划(批准号:2002CB311903);中国科学院重点创新(批准号: KGCX2-SW-107)资助项目~~
Although outstanding microwave power performance of AlGaN/GaN HEMTs has been reported,drain current collapse is still a problem. In this paper,an experiment was carried out to demonstrate one factor causing the collap...
关键词:AlGaN/GaN HEMT current collapse carbon impurity deep trap 
具有场板结构的AlGaN/GaN HEMT的直流特性
《Journal of Semiconductors》2008年第3期554-558,共5页魏珂 刘新宇 和致经 吴德馨 
国家重点基础研究发展计划(批准号:2002CB311903;G20000683);中国科学院重点创新(批准号:KGCX2-SW-107)资助项目~~
研制成功具有场板结构的AlGaN/GaN HEMT器件,对源场板、栅场板器件的性能进行了分析.场板的引入减小了器件漏电和肖特基漏电,提高了肖特基反向击穿电压.源漏间距4μm的HEMT的击穿电压由常规器件的65V提高到100V以上,肖特基反向漏电由37...
关键词:ALGAN/GAN 高迁移率晶体管 肖特基特性 击穿电压 场板结构 
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