热载流子

作品数:305被引量:256H指数:7
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LDD MOSFET热载流子退化分析及其寿命预测
《固体电子学研究与进展》2024年第4期351-356,共6页陈光前 刘伟景 刘先婷 李清华 
国家自然科学基金资助项目(52177185,62174055)。
集成电路器件密集化导致电场梯度增大和电流密度集中,加剧了热载流子效应,电热性能退化。本文聚焦热载流子注入(Hot carrier injection, HCI)效应对器件可靠性的影响问题,通过研究N型轻掺杂漏极金属氧化物半导体场效应晶体管(N-type lig...
关键词:可靠性 热载流子注入(HCI) 轻掺杂漏极(LDD) 器件退化 寿命预测 
22 nm体硅FinFET热载流子及总剂量效应研究被引量:1
《固体电子学研究与进展》2020年第5期384-388,共5页王保顺 崔江维 郑齐文 席善学 魏莹 雷琪琪 郭旗 
国家自然科学基金资助项目(11605282,11505282,11805268);中国科学青年创新促进会资助项目(2018473);中国科学院西部之光资助项目(2019-XBQNXZ-A-003)。
为了解FinFET在辐射环境下的可靠性,对22 nm体硅N型FinFET热载流子注入效应及电离总剂量效应进行了研究。试验结果表明,本批次nFinFET热载流子效应显著,鳍数越少参数退化越多。主要原因是鳍间的耦合作用降低了热载流子密度,使得多鳍器...
关键词:鳍式场效应晶体管 热载流子注入效应 总剂量效应 
VDMOS器件高温热载流子效应的研究
《固体电子学研究与进展》2016年第1期39-44,共6页储晓磊 高珊 李尚君 
国家核高基重大专项资助项目(2010ZX0103 0-001-001-004)
用二维器件仿真软件Silvaco-Atlas模拟了VDMOS器件工作时产热分布,观察到高温区集中分布在沟道末端及积累层区域。仿真了自加热效应情形下的输出特性曲线,图像显示曲线在达到饱和点后随漏电压增大有下降趋势。结合理论揭示了自加热效应...
关键词:垂直双扩散金属氧化物半导体 自加热效应 衬底电流 热载流子效应 
SOI NLIGBT热载流子效应研究
《固体电子学研究与进展》2012年第4期309-313,317,共6页张炜 张世峰 韩雁 吴焕挺 
SOI NLIGBT中热载流子效应分别通过直流电压的应力测试、TCAD仿真和电荷泵测试三种方法进行了研究。其中,不同直流电压应力条件下测得的衬底电流Isub和导通电阻Ron用来评估因热载流子效应引起的器件退化程度。为了进行理论分析,对器件...
关键词:绝缘体上硅的N型横向绝缘栅双极晶体管 热载流子效应 碰撞离化率 电荷泵 界面态 氧化层陷阱空穴 
基于电荷泵法的N-LDMOS界面态测试技术研究被引量:2
《固体电子学研究与进展》2009年第4期597-601,605,共6页刘斯扬 钱钦松 孙伟锋 李海松 时龙兴 
江苏省自然科学基金支持项目(项目编号:BK2008287)
详细研究了高压N-LDMOS器件的电荷泵(CP)测试技术,指出了高压N-LDMOS器件的特殊结构对其CP测试结果的影响,并解释了高压N-LDMOS器件的CP曲线不饱和的原因,同时对由于不同的源漏偏压造成的高压N-LDMOS器件CP曲线的变化进行了深入的理论...
关键词:N型横向双扩散金属氧化物晶体管 电荷泵测试 热载流子 
Halo注入角度对热载流子效应的影响及优化被引量:2
《固体电子学研究与进展》2007年第1期130-133,共4页王兵冰 汪洋 黄如 张兴 
国家自然科学基金资助项目(90207004)
通过模拟和实验研究了不同的halo注入角度的NMOSFET,研究发现halo的注入角度越大,热载流子效应的退化越严重。考虑到由于热载流子的注入造成栅氧化层损伤,使器件可靠性变差,halo注入时应该采用小的倾角注入。
关键词:HALO 热载流子效应 短沟效应 漏感应势垒降低效应 N型金属-氧化物-半导体场效应晶体管 
MOSFET的热载流子损伤及其退火被引量:1
《固体电子学研究与进展》2006年第4期560-563,共4页余学峰 艾尔肯 任迪远 张国强 陆妩 郭旗 
对国内常规54HC工艺制作的PMOSFET进行了F-N热载流子注入损伤实验,研究了MOSFET跨导、阈电压等参数随热载流子注入的退化规律,特别是从微观氧化物电荷和界面态变化对阈电压影响角度,对国内外较少见报道的MOSFET热载流子损伤在室温和高温...
关键词:金属氧化物半导体场效应晶体管 热载流子 损伤 退火 
热载流子应力下n-MOSFET线性漏电流的退化被引量:1
《固体电子学研究与进展》2006年第1期20-24,48,共6页赵要 许铭真 谭长华 
国家基础研究项目(G2000036503)资助
研究了不同沟道和栅氧化层厚度的n-M O S器件在衬底正偏压的VG=VD/2热载流子应力下,由于衬底正偏压的不同对器件线性漏电流退化的影响。实验发现衬底正偏压对沟长0.135μm,栅氧化层厚度2.5 nm器件的线性漏电流退化的影响比沟长0.25μm,...
关键词:金属-氧化物-半导体场效应晶体管 可靠性 热载流子效应 衬底正向偏置 
深亚微米槽栅PMOS结构对抗热载流子效应的影响被引量:1
《固体电子学研究与进展》2005年第1期23-28,113,共7页任红霞 张晓菊 郝跃 
预研项目 99J8.1.1.DZD13 2;博士点基金资助研究 80 70 110
基于流体动力学能量输运模型 ,利用二维仿真软件 MEDICI对深亚微米槽栅 PMOS器件的结构参数 ,如凹槽拐角、负结深、沟道和衬底掺杂浓度对器件抗热载流子特性的影响进行了研究 ,并从器件物理机制上对研究结果进行了解释。研究发现 ,随着...
关键词:深亚微米 槽栅PMOSFET 热载流子效应 结构参数 
新型槽栅nMOSFET热载流子效应的模拟研究
《固体电子学研究与进展》2003年第4期400-405,共6页童建农 邹雪城 沈绪榜 
应用二维器件仿真程序 PISCES- ,对槽栅结构和平面结构器件的特性进行了模拟比较 ,讨论了槽栅结构 MOSFET的沟道电场特征及其对热载流子效应的影响。槽栅结构对抑制短沟道效应和抗热载流子效应是十分有利的 ,而此种结构对热载流子的敏...
关键词:槽栅结构 NMOSFET 热载流子效应 热载流子退化 器件特性 亚阈值特性 输出特性 
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